• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Шамин, Евгений Сергеевич. Оптимизация в задачах моделирования, связанных с формированием фотолитографического изображения : специальность: 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Шамин Евгений Сергеевич ; Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники". - Долгопрудный, 2024. - 22 с. : ил., цв. ил. - Библиогр.: с. ( назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.37655.226.2-047.58(043)

    Кл.слова (ненормированные): АЛГОРИТМ SLSQP -- АЛГОРИТМ SLSQPЮ -- АЛГОРИТМ РАССТАНОВКИ SRAF -- БЕНЧМАРКИНГ -- ТОПОЛОГИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФУНКЦИЯ ХИММЕЛЬБЛАУ -- ШЕРОХОВАТОСТЬ БОКОВЫХ СТЕНОК
    Доп. точки доступа:
    Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар24-6167)

    Шифр в сводном ЭК: 4163449c9b88de0c5515c7a327f18e61



    Заказ фрагмента документа ₽