• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Белоус, Анатолий Иванович. МЭМС: конструкции, технологии, приложения / А. И. Белоус, С. А. Чижик. - Москва : ТЕХНОСФЕРА, 2024. - 618 с. : ил. - (Мир электроники ; VII-81). - Библиогр. в конце гл. - 500 экз. - ISBN 978-5-94836-688-3. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    45.53621.31-181.4
    621.31-181.4-047.56

    Рубрики:
    Микроэлектромеханические системы
    Микроэлектромеханические системы -- Проектирование

    Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИКИ СИЛЫ -- КОРПУСИРОВАНИЕ КРИСТАЛЛОВ -- МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ АППАРАТУРА -- МЭМС-АКСЕЛЕРОМЕТРЫ -- МЭМС-АКТЮАТОРЫ -- МЭМС-ГИРОСКОПЫ -- ОПТИЧЕСКИЕ МЭМС -- ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ
    Аннотация: В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительно развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений - микроэлектромеханических систем (МЭМС). Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию - от студентов, аспирантов и преподавателей технических вузов, специализирующихся в области микроэлектроники, до инженеров - разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров - технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической техники. В восемнадцати тематических главах последовательно на конкретных примерах рассмотрены все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств, основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусирования МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования и заканчивая стандартами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств.
    Доп. точки доступа:
    Чижик, Сергей Антонович

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-24/79596)

    Шифр в сводном ЭК: e01c229334d8409d13f30806061ed8c3



    Заказ фрагмента документа ₽