• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Шевкун, И. М. Автоматизация терхмерного моделирования элементов микроэлектронных структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наука:05.13.16 / И. М. Шевкун. - Минск, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Белорус. гос. ун-т. Библиогр.: с.18-19 (5назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.14.07621.3.049.76.001.57(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР93-6153)

    Шифр в сводном ЭК: f472a14784a2e5a8c5f3ebceaab48265



    Заказ фрагмента документа ₽