• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Мочалов, Леонид Александрович. Плазмохимический синтез тонких пленок халькогенидов мышьяка и сульфида галлия : монография / Л. А. Мочалов, М. А. Кудряшов, Е. А. Слаповская ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева. - Нижний Новгород : Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева, 2024. - 159 с. : ил. - Библиогр.: с. 145-159 (196 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-502-01768-8. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.33.33621.383-03-047.84

    Рубрики:
    Оптоэлектронные приборы -- Материалы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА -- МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ -- МОДИФИКАЦИЯ ЛАЗЕРНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ -- ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ -- СВОЙСТВА -- ХАЛЬКОГЕНИДНЫЕ ПЛЕНКИ -- ХАЛЬКОГЕНИДНЫЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
    Аннотация: В монографии обобщены результаты систематических исследований по получению тонких пленок As-S, As-Se, As-Te, As-Se-Te и Ga-S плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из высокочистых элементов. Монография будет полезна специалистам разного профиля, работающим в области физической химии, материаловедения, химии твердого тела и плазмохимии, а также студентам, специализирующимся в этих направлениях.
    Доп. точки доступа:
    Кудряшов, Михаил Александрович
    Слаповская, Екатерина Андреевна
    Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-24/25353)

    Шифр в сводном ЭК: c7b056047a9184ec20a1d1165029fe35



    Заказ фрагмента документа ₽