• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Зинченко, Тимур Олегович. Информационно-измерительная система управления процессом получения прозрачных проводящих оксидов : специальности: 2.2.11. Информационно-измерительные и управляющие системы (технические науки); 2.2.9. Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры (технические науки): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Зинченко Тимур Олегович ; Пензенский государственный университет, Кафедра "Информационно-измерительная техника и метрология". - 2023. - 22, [1] с. : ил. - Библиогр. в конце кн. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    45.09.31621.315.5-416-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): ПАРАМЕТРЫ КАЧЕСТВА -- ПОВЕРХНОСТНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ -- ПРОЗРАЧНЫЕ ПРОВОДЯЩИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ -- СПРЕЙ-ПИРОЛИЗ -- ТЕМПЕРАТУРА ПОДЛОЖКИ -- УПРАВЛЯЮЩИЕ ПАРАМЕТРЫ
    Доп. точки доступа:
    Пензенский государственный университет. Кафедра "Информационно-измерительная техника и метрология"

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар23-5131)

    Шифр в сводном ЭК: 400b1202fdb00841a2f6054e36871466



    Заказ фрагмента документа ₽