• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Юшков, Юрий Георгиевич. Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме : учебное пособие / Ю. Г. Юшков, А. С. Климов ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Изд-во ТУСУРа, 2023. - 67 с. : ил. - Библиогр.: с. 66-67 (13 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-6050215-3-7. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.09.31621.315.61-047.84
    55.20.15621.9.048.7
    621.9.04:533.9

    Рубрики:
    Диэлектрики -- Обработка электронная
    Электронно-ионная обработка
    Плазменная обработка материалов

    Кл.слова (ненормированные): ДИАГНОСТИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ОБРАБОТКА ДИЭЛЕКТРИКОВ -- ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ -- ПАРАМЕТРЫ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ -- ФОРВАКУУМНЫЕ ПЛАЗМЕННЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ ИСТОЧНИКИ -- ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ
    Аннотация: Рассмотрено оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий, диагностическое и вспомогательное оборудование для реализации процессов взаимодействия ускоренного электронного пучка с поверхностью диэлектрических мишеней, физические принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования. Для аспирантов, а также студентов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники и ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Может быть полезно для специалистов и инженеров, чья работа связана с вопросами взаимодействия плазмы, электронных и ионных пучков с поверхностью, методами обработки материалов потоками заряженных частиц в различных областях науки и техники.
    Доп. точки доступа:
    Климов, Александр Сергеевич
    Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-23/18666)

    Шифр в сводном ЭК: 1f9bf462a36e08a68f08f3fafe64f2bc



    Заказ фрагмента документа ₽