• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Диэлектрики в наноэлектронике / В. А. Гриценко, И. Е. Тысченко, В. П. Попов, Т. В. Перевалов. - Новосибирск : Изд-во Сиб. отд-ния Рос. акад. наук, 2010 (Новосибирск). - 257 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - 500 экз. - ISBN 978-5-7692-1081-5. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Сибир. отд-ние Российской академии наук

    ГРНТИ УДК
    45.09.37621.315.61-416

    Рубрики:
    Диэлектрические пленки

    Аннотация: Рассмотрены строение пленок оксида и нитрида кремния, полупроводниковые нанокристаллы в диэлектрических пленках, электронная структура диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью, технология структур кремний-на-изоляторе, физика приборов флэш-памяти.
    Доп. точки доступа:
    Гриценко, В.А.
    Тысченко, И.Е.
    Попов, В.П.
    Перевалов, Т.В.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-10/49017)

    Шифр в сводном ЭК: 15254e1b5e0bf81ec422bc8519ff1764



    Заказ фрагмента документа ₽