• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Павлов, Александр Александрович. Модели и методы синтеза и легирования массивов углеродных нанотрубок для создания изделий кремний-углеродной наноэлектроники : специальность 2.2.2. "Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук / Павлов Александр Александрович ; Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (ИНМЭ РАН). - 2023. - 38 с. : ил. - Библиогр.: с. 34-38 (28 назв.). - Тираж не указ. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.07621.315.592.9-022.532-047.84(043)
    47.33.35621.384-022.532-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): ГРАФЕН -- КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- НАНОЧАСТИЦЫ КАТАЛИЗАТОРА -- НАНОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО -- УГЛЕРОДИСТЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ИЗДЕЛИЯ
    Доп. точки доступа:
    Институт нанотехнологий микроэлектроники (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар23-3465)

    Шифр в сводном ЭК: 10fc79af85bbbb204ebac9913b98812e



    Заказ фрагмента документа ₽