• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Косолобов, Сергей Сергеевич. Высокотемпературные атомные процессы на границе раздела кремний-вакуум при сублимации, эпитаксии, термическом травлении кислородом и осаждении золота : специальность 1.3.8. "Физика конденсированного состояния": автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук / Косолобов Сергей Сергеевич ; Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Сколковский институт науки и технологий. - 2022. - 26 с. - Библиогр.: с. 22-26. - 120 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:532.6(043)

    Кл.слова (ненормированные): АТОМНЫЕ РЕАКЦИИ -- ДИФФУЗИЯ -- КИНЕТИКА ЗАРОДЫШЕОБРАЗОВАНИЯ -- ПОВЕРХНОСТИ -- ПРИМЕСИ ЗАМЕЩЕНИЯ -- ТОЧЕЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ
    Доп. точки доступа:
    Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова (Новосибирск)
    Сколковский институт науки и технологий (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар23-1956)

    Шифр в сводном ЭК: ebf62a2f2b2f8e160462bf1398c00ef0



    Заказ фрагмента документа ₽