• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Клейманов, Роман Валерьевич. Разработка системы подачи вязких высококипящих реагентов для процессов химического осаждения из газовой фазы : 2.2.3. Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Клейманов Роман Валерьевич ; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого (Политех). - 2023. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 23 (3 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    61.35.31666.112.8(043)

    Кл.слова (ненормированные): КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО -- КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ -- МЕЛКОДИСПЕРСНЫЕ АЭРОЗОЛИ -- ПОДАЧА РЕАГЕНТОВ -- ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
    Доп. точки доступа:
    Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар23-818)

    Шифр в сводном ЭК: e5ce45378e46d4782d90d5453b693183



    Заказ фрагмента документа ₽