Полное описание
>
Головяшкин, Алексей Николаевич .
Тонкоплёночная электроника : учебник / А. Н. Головяшкин ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Пензенский государственный университет (ПГУ). - Пенза : Изд-во ПГУ, 2022. - 282, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 256 (12 назв.). - 48 экз. -
ISBN 978-5-907600-05-8. - Текст (визуальный) : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.33 621.38-416
Рубрики: Пленочная электроника
Кл.слова (ненормированные): ГЕРМЕТИЗАЦИЯ -- МИКРОКОНТАКТИРОВАНИЕ ВЫВОДОВ -- МИКРОСБОРКИ -- МИКРОСХЕМЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ГИБРИДНЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ИНДУКТИВНОСТИ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ КОНТАКТНЫЕ ПЛОЩАДКИ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПРОВОДНИКИ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ УСТРОЙСТВА ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация: Рассмотрены тонкоплёночные элементы и устройства электронной и микросистемной техники. Приведены необходимые справочные данные для проведения расчётов и проектирования гибридных тонкоплёночных интегральных микросхем и микросборок. Дано описание некоторых технологических операций, которые определяют элементы будущей конструкции изделия. Издание подготовлено на кафедре "Нано- и микроэлектроника" Пензенского государственного университета и предназначено для обучающихся по направлениям подготовки "Электроника и наноэлектроника" и "Нанотехнологии и микросистемная техника", а также других направлений, образовательные программы которых предусматривают изучение тонкоплёночной электроники, и может быть полезно для инженеров, занимающихся разработкой различных устройств на основе тонкоплёночных элементов.
Доп. точки доступа: Пензенский государственный университет
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-22/12417)>
Шифр в сводном ЭК: 5c8a403047cacd360680f404fc922cf9
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Никитина О.Г. Математический анализ: функции нескольких переменных, ряды, дифференциальные уравнения : учебной пособие : в 3 ч. Ч. 2, 2017. - 99 с. - Текст : непосредственный. Экономика и международные отношения: проблемы, тенденции, перспективы / Пензенский государственный университет, 2017. - 179 с. - Текст : непосредственный. Лыгина М.А. Экспертные методы в управлении образовательными системами и социальной работе : учебное пособие / М. А. Лыгина, В. Е. Коноваленко, 2017. - 95 с. - Текст : непосредственный. Тактарова С.В. Управление инновациями : учебное пособие / С. В. Тактарова, С. С. Солдатова, 2017. - 306, [1] с. - Текст : непосредственный. Новые информационные технологии и системы / Пензенский государственный университет, 2017. - 419 с. - Текст : непосредственный. Химические основы биологических процессов : учебное пособие / Н. В. Фирстова, Н. В. Волкова, А. Н. Вернигора, Ж. С. Вишнякова, 2018. - 75 с. - Текст : непосредственный. Макеева Г.С. Математическое моделирование электронноуправляемых устройств терагерцового диапазона на основе графена и углеродных нанотрубок : монография / Г. С. Макеева, О. А. Голованов, 2018. - 303 с. - Текст : непосредственный. Фирстова Н.В. Химическая технология : учебное пособие / Н. В. Фирстова, А. В. Кузнецова, 2018. - 106, [2] с. - Текст : непосредственный. Муйземнек А.Ю. Механика деформирования и разрушения полимерных слоистых композиционных материалов : учебное пособие / А. Ю. Муйземнек, Е. Д. Карташова, 2017. - 52, [2] с. - Текст : непосредственный. Гамидуллаева Л.А. Теория и методология управления региональной инновационной экономикой : монография / Л. А. Гамидуллаева, 2018. - 188, [1] с. - Текст : непосредственный. Введение в конструирование программ : учебное пособие / Л. В. Гурьянов, Л. С. Гурьянова, Е. А. Дзюба, С. В. Самуйлов, 2018. - 167, [1] с. - Текст : непосредственный. Кисина Е.И. Ценообразование во внешней торговле : учебное пособие / Е. И. Кисина, М. Г. Кузьмина, 2018. - 66, [1] с. - Текст : непосредственный. Литвинов А.Н. Механика материалов и конструкций : учебное пособие / А. Н. Литвинов, 2018. - 239 с. - Текст : непосредственный. Безбородова О.Е. Этапы технологического цикла отходов на промышленном предприятии : учебное пособие / О. Е. Безбородова, 2018. - 252, [1] с. - Текст : непосредственный. Экономика и международные отношения: проблемы, тенденции, перспективы / Пензенский государственный университет, 2018. - 316 с. - Текст : непосредственный. Тактарова С.В. Экономика отрасли: автомобильный транспорт : учебное пособие / С. В. Тактарова, С. С. Солдатова, 2018. - 224, [1] с. - Текст : непосредственный. Нанотехнологии в микро- и наноэлектронике: получение, исследование, моделирование : учебное пособие / И. А. Аверин [и др.]; под редакцией И. А. Аверина, В. А. Мошникова, 2018. - 78 с. - Текст : непосредственный. Глебова М.В. Алгебраические выражения, уравнения и неравенства : учебное пособие / М. В. Глебова, Н. А. Осьминина, П. Г. Пичугина, 2018. - 97, [2] с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Куртев Н.Д. Электронные цепи и устройства / Н. Д. Куртев, В. И. Нефедов, 1990. - 53 с. - Текст : непосредственный. Захаров Н.П. Механические явления в интегральных структурах / Н. П. Захаров, А. В. Багдасарян, 1992. - 144 с. - Текст : непосредственный. Физика и техника полупроводников / Российская академия наук, Физико-технический ин-т им. А. Ф. Иоффе (Санкт-Петербург). - Журнал выходит с 1967г. - Текст : непосредственный. Цырлин Г.Э. Эффекты самоорганизации наноструктур на поверхности полупроводников при молекулярно-пучковой эпитаксии : специальность 01.04.01 "Приборы и методы экспериментальной физики", 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / Г. Э. Цырлин, 2001. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шугуров А.Р. Эволюция рельефа поверхностей тонких пленок в процессе их формирования при внешних воздействиях: фрактальный анализ : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. Р. Шугуров, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный. Воскресенский В.В. Применение туннельных диодов в импульсной технике, 1974. - 120 с. - Текст : непосредственный. Полупроводниковая микроэлектроника : сборник научных трудов / Новосибирский электротехнический ин-т, 1989. - 113,5 c. c. - Текст : непосредственный. Лазерная и оптико-электронная техника : сборник научных трудов / Белорусский ун-т им. В. И. Ленина (Минск), 1989. - 215 c. - Текст : непосредственный. Кристовский Г.В. Электронно-физическое моделирование КМОП БИС / Г. В. Кристовский, Л. А. Маслова, Ю. В. Фастовец, 1990. - 15 с. - Текст : непосредственный. Кравченко А.Ф. Магнитная электроника / А. Ф. Кравченко ; Ред. И. Г. Неизвестный, 2002. - 398 с. - Текст : непосредственный. Зотов А.А. Физические основы устройств функциональной электроники / А. А. Зотов, Т. И. Чернышова, В. Н. Чернышов, 1993. - 208 c. - Текст : непосредственный. Multiple-valued logic in VLSI design / Ed. J. T. Butler, 1991. - VII,120 p. p. - Текст : непосредственный. Хилько А.Ю. Рост из молекулярных пучков и свойства гетероструктур с эпитаксиальными слоями фторида кадмия : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. Ю. Хилько, 1998. - 26 с. - Текст : непосредственный. Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика : материалы временных коллективов, 2014. - 240 с. - Текст : непосредственный. Петров П.В. Исследование A+ центров в двумерных структурах на основе GaAs : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. В. Петров, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный. Щука А. А. Наноэлектроника / А. А. Щука, 2007. - 463 с. - Текст : непосредственный. Малинаускас К.К. Разработка математического и программного обеспечения систем топологического проектирования СБИС с использованием диаграмм Вороного : специальность 05.13.11 "Математическое и программное обеспечение вычислительных машин,комплексов и компьютерных сетей" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. К. Малинаускас, 2007. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пигулев Р. В. Получение и исследование многокомпонентных гетероструктур на основе твердых растворов А111ВV / Р. В. Пигулев, 2007. - 21 с. - Текст : непосредственный. Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 1, 2007. - 450 с. - Текст : непосредственный. Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 2, 2007. - 310 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Ермолаев Ю.П. Конструкторско-технологические возможности повышения качества пленочных элементов : выставочные материалы / Ю. П. Ермолаев, И. К. Саттаров, 2001. - 147 с. - Текст : непосредственный. Манукянц А.Р. Поверхностные свойства металлических систем / А. Р. Манукянц, В. А. Созаев, 2017. - 219 с. - Текст : непосредственный. Наноматериалы / "Техномаш",открытое АО. 4 : Тонкие пленки как наноструктурированные системы / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, 2008. - 254 с. - Текст : непосредственный. Saito M. Research on the fundamentals for realization of functional film devices using fatty acid salt films / M.Saito, 1991. - 70 p. - Текст : непосредственный. Тумаркин А.В. Технология тонких пленок : Текст лекций / А.В.Тумаркин,В.И.Шаповалов, 2003. - 64 с. - Текст : непосредственный. Thin films and heterostructures for oxide electronics / ed. S. B. Ogale, 2005. - X,419 p. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 3(1546) : Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении : По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1975-1989 гг. / В.Ю.Васильев, 1990. - 56 с. - Текст : непосредственный. Головяшкин, Алексей Николаевич. Тонкоплёночная электроника : учебник / А. Н. Головяшкин, 2022. - 282, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Слуцкая, Валентина Викторовна. Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот / В. В. Слуцкая, 1962. - 398. [1] с. - Текст : непосредственный. Ермолаев Ю.П. Конструкторско-технологические возможности повышения качества пленочных элементов : выставочные материалы / Ю. П. Ермолаев, И. К. Саттаров, 2001. - 147 с. - Текст : непосредственный. Евстифеев Е.В. Получение и исследование физических свойств металлических покрытий на диэлектриках : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Е. В. Евстифеев, 1991. - 18 с. - Текст : непосредственный. Манукянц А.Р. Поверхностные свойства металлических систем / А. Р. Манукянц, В. А. Созаев, 2017. - 219 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Токнова В.Ф. Структура и свойства бинарных и многокомпонентных покрытий на основе оксида титана и оксида гафния, формируемых атомно-слоевым осаждением из алкоксидов титана и этилметиламида гафния : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.21 / В. Ф. Токнова, 2013. - 18 с. - Текст : непосредственный. Шишов М.А. Самоорганизованные слои полианилина для применения в электронике : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / М. А. Шишов, 2013. - 16 с. - Текст : непосредственный. Наноматериалы / "Техномаш",открытое АО. 4 : Тонкие пленки как наноструктурированные системы / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, 2008. - 254 с. - Текст : непосредственный. Бобрович О.Г. Физико-химические процессы при ионно-ассистированном формировании металлосодержащих покрытий на кремнии и графите : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / О. Г. Бобрович, 2004. - 22 с. - Текст : непосредственный. Сборник научных трудов XXI Международной научно-технической конференции "Высокие технологии в промышленности России" (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники), XVIII Международного симпозиума "Тонкие пленки в электронике", VIII Международной научно-технической конференции "Наноинженерия" / Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана [и др.], 2016. - 399 с. - Текст : непосредственный. Тонкие пленки в электронике : Материалы 7 Международного симпоз. / Международная академия информатизации, 1996. - 326 c. - Текст : непосредственный. Комлев А.Е. Технология осаждения пленок оксида тантала методом реактивного магнетронного распыления : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.02 / А. Е. Комлев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Ильин А.С. Упругие и неупругие свойства тонких пленок Si3N4, SiO2-SnO2, SiO2-B2O3 и системы Cu-Se, обусловленные включениями второй фазы : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / А. С. Ильин, 2005. - 17 с. - Текст : непосредственный. Тонкие пленки в электронике : Материалы IV Межрегион.совещ., 1993 г. / Центральный науч.-исследовательский технологический ин-т (Москва), 1993. - 255 c. - Текст : непосредственный. Бейсенханов Н.Б. Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами : автореф. дис. .. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / Н. Б. Бейсенханов, 2011. - 31 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽