Приложение
для AndroidПолное описание
Электронно-библиотечная система znanium.com.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76-047.84 | |
| 47.13.07 | 621.384-022.532-047.84 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Наноэлектронные устройства -- Производство
Кл.слова (ненормированные): АНОДНОЕ РАСТВОРЕНИЕ -- АНОДНЫЕ ОКСИДНЫЕ ПЛЕНКИ -- КАТОДНОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- КРЕМНИЙ -- МИКРОСТРУКТУРЫ -- НАНОСТРУКТУРЫ -- ПОЛУПРОВОДНЕИКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- ЭЛЕКТРОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ
Аннотация: Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.
Доп. точки доступа:
Белов, Алексей Николаевич
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-23/13329)
Шифр в сводном ЭК: 62597c3cf78fb598a60e03f436830374
Гаврилов А.С. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : Учебное пособие / А. С. Гаврилов, А. Н. Белов, 2019. - 240 с. - Текст : электронный.Гаврилов, Сергей Александрович. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2023. - 238, [1] с. - Текст : непосредственный.Гаврилов, Сергей Александрович. Системы, приборы и методы диагностики пучков для линейных ускорителей ионов : 1.3.2 - Приборы и методы экспериментальной физики: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук / Гаврилов Сергей Александрович, 2025. - 45, [2] с. - Текст : непосредственный.
Анализ и диагностика финансово-хозяйственной деятельности промышленного предприятия : выставочные материалы / Е. Н. Изюмова, В. В. Мыльник, А. В. Мыльник, М. Б. Пушкарева, 2014. - 311 с. - Текст : непосредственный.Наумов А.Ф. Инновационная деятельность предприятия : выставочные материалы / А. Ф. Наумов, А. А. Захарова, 2015. - 255 с. - Текст : непосредственный.Шестаков Ю.А. История рекламы : выставочные материалы / Ю. А. Шестаков, 2016. - 258 с. - Текст : непосредственный.Попов Р.А. Региональное управление и территориальное планирование : выставочные материалы / Р. А. Попов, 2014. - 287 с. - Текст : непосредственный.Кулеш В.Ф. Экология. Учебная полевая практика : выставочные материалы / В. Ф. Кулеш, В. В. Маврищев, 2015. - 331 с. - Текст : непосредственный.Астафьева О.Е. Правовые основы природопользования и охраны окружающей среды : выставочные материалы / О. Е. Астафьева, А. В. Питрюк, 2014. - 269 с. - Текст : непосредственный.Бортаковский А.С. Линейная алгебра в примерах и задачах : выставочные материалы / А. С. Бортаковский, А. В. Пантелеев, 2015. - 591 с. - Текст : непосредственный.Костромина Е.В. Авиатранспортный маркетинг : выставочные материалы / Е. В. Костромина, 2012. - 360 с. - Текст : непосредственный.Журина Л.Л. Агрометеорология : выставочные материалы / Л. Л. Журина, 2015. - 348 с. - Текст : непосредственный.Булат Р.Е. Документационное обеспечение управления персоналом : выставочные материалы / Р. Е. Булат, 2015. - 232 с. - Текст : непосредственный.Теория надежности. Статистические модели : выставочные материалы / А. В. Антонов, М. С. Никулин, А. М. Никулин, В. А. Чепурко, 2015. - 575 с. - Текст : непосредственный.Игебаева Ф.А. Социология : выставочные материалы / Ф. А. Игебаева, 2014. - 235 с. - Текст : непосредственный.Рыжикова Т.Н. Аналитический маркетинг: что должен знать маркетинговый аналитик : выставочные материалы / Т. Н. Рыжикова, 2014. - 288 с. - Текст : непосредственный.Гиршберг М.А. Геодезия учебник : выставочные материалы / М. А. Гиршберг, 2013. - 383 с. - Текст : непосредственный.Чебакова Г.В. Оценка качества молока и молочных продуктов : выставочные материалы / Г. В. Чебакова, И. А. Зачесова, 2015. - 181 с. - Текст : непосредственный.Логинова Н.А. Планирование на предприятии транспорта : выставочные материалы / Н. А. Логинова, 2013. - 320 с. - Текст : непосредственный.Иванов Ю.Н. Основы национального счетоводства (международный стандарт СНС 2008 г.) : выставочные материалы / Ю. Н. Иванов, Ю. Н. Иванов, А. Н. Воробьев, С. Е. Казаринова [и др.], 2013. - 398 с. - Текст : непосредственный.Логинова Н.А. Экономическая оценка инвестиций на транспорте : выставочные материалы / Н. А. Логинова, 2013. - 251 с. - Текст : непосредственный.Нескоромных В.В. Методологические и правовые основы инженерного творчества : выставочные материалы / В. В. Нескоромных, В. П. Рожков, 2015. - 317 с. - Текст : непосредственный.Фаррахов А.Г. Управление социально-техническими системами : выставочные материалы / А. Г. Фаррахов, 2015. - 217 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВиноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМоделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный.Манукянц А.Р. Влияние внешних воздействий на поверхностную энергию и поверхностное сопротивление металлических систем / А. Р. Манукянц, 2010. - 23 с. - Текст : непосредственный.Micro-nano technology XIII : материалы временных коллективов / Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13 ; 2011 ; Changchow), 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : выставочные материалы / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный.Моисеев К.М. Управление рельефом поверхности самоупорядоченных глобулярных микроструктур для изделий электронной техники / К. М. Моисеев, 2012. - 16 с. - Текст : непосредственный.Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.Мир материалов и технологий. 6(14) : Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники / Д. М. Мартинес-Дуарт, Р. Д. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда; пер. с англ. А. В. Хачояна; под ред. Е. Б. Якимова, 2007. - 367 с. - Текст : непосредственный.Захарова И.Б. Физические основы микро- и нанотехнологий : выставочные материалы / И. Б. Захарова, 2010. - 200 с. - Текст : непосредственный.
Муслимов А.Э. Управляемая перестройка поверхности кристаллических подложек для формирования эпитаксиальных наноструктур / А. Э. Муслимов, 2018. - 43 с. - Текст : непосредственный.Осипов А.А. Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. А. Осипов, 2019. - 19 с. - Текст : непосредственный.Спешилова А.Б. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. Б. Спешилова, 2019. - 21 с. - Текст : непосредственный.The 2010 International workshop on materials for advanced metallization, was held from Mar. 7th to Mar. 10th in Mechelen (Malines), Belgium / International workshop on materials for advanced metallization (2010; Mechelen (Malines)), 2011. - VIII, 536-845 p. - Текст : непосредственный.Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учеб. пособие / Г. Д. Кузнецов [и др.], 2012. - 127 с. - Текст : электронный.Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / М. В. Акуленок [и др.]. Т. 2 : Технологические аспекты, 2011. - 252 с. - Текст : непосредственный.The 9th international MicroProcess conference,held in Kitakyusyu-City,July 8-11,1996 / MPC'96, 1996. - 6348-6695 p. p. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Заказ фрагмента документа ₽