Полное описание
Дворецкая, Лилия Николаевна .
Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур : специальность 1.3.2 (01.04.01) Приборы и методы экспериментальной физики: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Дворецкая Лилия Николаевна ; Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет им. Ж. И. Алфёрова Российской академии наук. - Санкт-Петербург, 2022. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20. - 100 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.77-047.84:776(043) 47.09.29 621.315.592.9-022.532-047.84(043) 47.13.07
Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ -- МИКРОСФЕРИЧЕСКИЕ ЛИНЗЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- ТЕКСТУРИРОВАННЫЕ МАСКИ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
Доп. точки доступа: Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алферова
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар22-8360)
Шифр в сводном ЭК: bf18f515ef9edf29d8855d02242775d0
Вязьмин С.Ю. Способы выражения количественного состава растворов : учебное пособие / С. Ю. Вязьмин, В. М. Бойцов, М. Н. Рязанцев, 2020. - 50 с. - Текст : непосредственный. Сапунов, Георгий Андреевич. Молекулярно-пучковая эпитаксия наноструктур нитрида, арсенида и фосфида галлия на кремнии : специальность 1.3.8 - "Физика конденсированного состояния": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Сапунов Георгий Андреевич, 2021. - 19 с. - Текст : непосредственный. Шубина, Ксения Юрьевна. Формирование и исследование свойств эпитаксиальных структур GaN/Si(111) : 01.04.10 - Физика полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Шубина Ксения Юрьевна, 2021. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ступин, Даниил Дмитриевич. Помехоустойчивая иммиттансная спектроскопия на основе адаптивной фильтрации и ее применение для исследования одиночных клеток и клеточных популяций in vitro : специальность 03.01.02 - "Биофизика": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Ступин Даниил Дмитриевич, 2022. - 24 с. - Текст : непосредственный. Кочетков, Федор Михайлович. Создание и исследование гибких светодиодов на основе массивов фосфидных и нитридных полупроводниковых соединений нитевидных нанокристаллов, инкапсулированных в полимерные матрицы : специальность 01.04.10 - физика полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Кочетков Федор Михайлович, 2022. - 17 с. - Текст : непосредственный. Филатов, Никита Алексеевич. Разработка микрофлюидной платформы для синтеза монодисперсных макроэмульсий и гидрогелевых микрочастиц : 1.3.2 - Приборы и методы экспериментальной физики: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Филатов Никита Алексеевич, 2022. - 18 с. - Текст : непосредственный. Дворецкая, Лилия Николаевна. Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур : специальность 1.3.2 (01.04.01) Приборы и методы экспериментальной физики: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Дворецкая Лилия Николаевна, 2022. - 20 с. - Текст : непосредственный. Шаров, Владислав Андреевич. Оптические и электронные явления в нитевидных нанокристаллах AIII BV при механической деформации : специальность 1.3.11. - "Физика полупроводников": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Шаров Владислав Андреевич, 2022. - 23 с. - Текст : непосредственный. Шугуров, Константин Юрьевич. Нитевидные нанокристаллы нитрида галлия на кремнии: свойства и приборное применение : специальность: 1.3.2 (01.04.01) Приборы и методы экспериментальной физики: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Шугуров Константин Юрьевич, 2022. - 21 с. - Текст : непосредственный. Вязьмин, Сергей Юрьевич. Номенклатура основных классов неорганических и органических соединений : учебное пособие / С. Ю. Вязьмин, М. Н. Рязанцев, В. М. Бойцов, 2024. - 103 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Надоян, Ирина Валерьевна. Исследование чувствительности детекторов массы и сенсоров оптически модулированных колебаний на основе наноструктур их углеродных вискеров : специальность: 1.3.2 Приборы и методы экспериментальной физики: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Надоян Ирина Валерьевна, 2024. - 25 с. - Текст : непосредственный. Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Перминов В.Н. Электронное строение и энергетический спектр поверхности диоксида кремния, модифицированного ионами 3d- и 4d-элементов : специальность 01.04.04 "Физическая электроника" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / В. Н. Перминов, 2006. - 18 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ищенко А.А. Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля / А. А. Ищенко, Г. В. Фетисов, Л. А. Асланов, 2011. - 647 с. - Текст : непосредственный. Кажева О.Н. Синтез и строение новых молекулярных проводников на основе катион-радикальных солей с анионами, содержащими ртуть и редкоземельные элементы : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / О. Н. Кажева, 2002. - 20 с. - Текст : непосредственный. Дорожкин С.И. Рост слитков и эволюция пор в карбиде кремния : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. И. Дорожкин, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный. Егоров А.Ю. Азотсодержащие полупроводниковые твердые растворы AIIIBV-N - новый материал оптоэлектроники : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / А. Ю. Егоров, 2011. - 40 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Тензорезистивная структура гетерогенных материалов / С. Х. Шамирзаев, М. Х. Агзамова, Н. А. Ахмедова, 1990. - 35 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Коробко Ю.О. Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / Ю.О. Коробко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный. Mulder E.H. On the throuhput optimization of electron beam lithography systems : Diss. / E.H.Mulder, 1991. - Pag.var. - Текст : непосредственный. Тимофеев В.А. Морфология и структура поверхности на начальных стадиях роста пленок GeSi и GeSiSn на Si(100) : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / В. А. Тимофеев, 2014. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ююкин Н.В. Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Н. В. Ююкин, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный. Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный. Никулина Е.А. Измерение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.07 / Е. А. Никулина, 2016. - 18 с. - Текст : непосредственный. Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный. Кривулин Н.О. Особенности формирования наноразмерных кристаллических слоев кремния на сапфире : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Н. О. Кривулин, 2012. - 18 с. - Текст : непосредственный. Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный. Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
