Полное описание
> Шевнина, Юлия Сергеевна. Теоретические основы построения смарт-структур для управления автоматизированными производственными процессами в микроэлектронике : специальность 2.3.3. Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шевнина Юлия Сергеевна ; Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Институт СПИНТех. - Москва, 2022. - 48 с. : ил. - Библиогр.: с. 45-48 (37 назв.). - 80 экз. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76-047.84-52(043) | |
| 47.01.85 | 621.3.049.76:004(043) |
Кл.слова (ненормированные): АВТОМАТИЗАЦИЯ -- АСУ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ -- ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ПРИМЕНЕНИЕ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ -- ПРОИЗВОДСТВО -- СМАРТ-КОНСТРУКЦИИ
Доп. точки доступа:
"МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва). Институт системной и программной инженерии и информационных технологий
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар22-7988)>
Шифр в сводном ЭК: 064e30aa30021e7f05b86d84cf77628a
Лабораторный практикум по курсу "Web-программирование" / Ю. С. Шевнина, А. Н. Бураков, В. В. Константинов, А. М. Томишинец, 2021. - 63 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Шевнина, Юлия Сергеевна. Теоретические основы построения смарт-структур для управления автоматизированными производственными процессами в микроэлектронике : специальность 2.3.3. Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шевнина Юлия Сергеевна, 2022. - 48 с. - Текст : непосредственный.Информационные системы и технологии : учебное пособие / Л. Г. Гагарина, Ю. С. Шевнина, Е. Н. Лукьянова, Ю. А. Лукьянова, 2023. - 171 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Гагарина, Лариса Геннадьевна. Разработка и эксплуатация автоматизированных информационных систем : Учебное пособие / Московский институт электронной техники, 2025. - 358 с. - Текст : электронный.Шевнина, Юлия Сергеевна. Информационно-измерительные и управляющие системы производственными процессами для микро- и наноэлектроники : специальность 2.2.11. Информационно-измерительные и управляющие системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шевнина Юлия Сергеевна, 2024. - 40 с. - Текст : непосредственный.Теория алгоритмических языков и компиляторов : учебное пособие / Ю. С. Шевнина, А. В. Прокофьев, Е. Э. Гусев, Ю. В. Французова, 2025. - 175 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Гагарина, Лариса Геннадьевна. Основы проектирования и разработки информационных систем : Учебное пособие / Московский институт электронной техники, 2026. - 211 с. - Текст : электронный.
Гаращенко, Антон Витальевич. Разработка методики и алгоритмов верификации гетерогенных многоядерных систем на основе графовой модели иерархии когерентной кэш-памяти : специальность 05.13.01 Системный анализ, управление и обработка информации (технические системы): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Гаращенко Антон Витальевич, 2021. - 24 с. - Текст : непосредственный.Аунг Чжо Мьо.Исследование и разработка средств повышения эффективности процессов передачи и обработки информации в автоматизированных системах управления энергообеспечением промышленных объектов : специальность: 2.3.3. - "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (технические науки)": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Аунг Чжо Мьо, 2022. - 25 с. - Текст : непосредственный.Шевнина, Юлия Сергеевна. Теоретические основы построения смарт-структур для управления автоматизированными производственными процессами в микроэлектронике : специальность 2.3.3. Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шевнина Юлия Сергеевна, 2022. - 48 с. - Текст : непосредственный.Петров, Евгений Николаевич. Исследование и разработка методики и алгоритма обработки и структуризации библиографических записей : специальность 2.3.1 - Системный анализ, управление и обработка информации, статистика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Петров Евгений Николаевич, 2024. - 24 с. - Текст : непосредственный.Шевнина, Юлия Сергеевна. Информационно-измерительные и управляющие системы производственными процессами для микро- и наноэлектроники : специальность 2.2.11. Информационно-измерительные и управляющие системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шевнина Юлия Сергеевна, 2024. - 40 с. - Текст : непосредственный.
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Арсеньев Г.Н. Радиоавтоматика. Практикум : выставочные материалы / Г. Н. Арсеньев, С. Н. Замуруев, 2014. - 280 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Погодин А.А. Синтез электронных схем в устройствах электрорадиоавтоматики / А. А. Погодин, Ю. Л. Филимонов, А. Д. Шишкин, 1994. - 139 c. - Текст : непосредственный.Арсеньев Г.Н. Радиоавтоматика. Практикум : выставочные материалы / Г. Н. Арсеньев, С. Н. Замуруев, 2013. - 260 с. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЛебедев, Александр Владимирович. Разработка эффективного метода организации программного обеспечения для автоматизированных систем управления технологическими процессами производства изделий микроэлектроники : специальность 2.3.3. - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (технические науки: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Лебедев Александр Владимирович, 2022. - 28 с. - Текст : непосредственный.Шевнина, Юлия Сергеевна. Теоретические основы построения смарт-структур для управления автоматизированными производственными процессами в микроэлектронике : специальность 2.3.3. Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шевнина Юлия Сергеевна, 2022. - 48 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽