• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Шевнина, Юлия Сергеевна. Теоретические основы построения смарт-структур для управления автоматизированными производственными процессами в микроэлектронике : специальность 2.3.3. Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шевнина Юлия Сергеевна ; Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Институт СПИНТех. - Москва, 2022. - 48 с. : ил. - Библиогр.: с. 45-48 (37 назв.). - 80 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-047.84-52(043)
    47.01.85621.3.049.76:004(043)

    Кл.слова (ненормированные): АВТОМАТИЗАЦИЯ -- АСУ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ -- ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ПРИМЕНЕНИЕ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ -- ПРОИЗВОДСТВО -- СМАРТ-КОНСТРУКЦИИ
    Доп. точки доступа:
    "МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва). Институт системной и программной инженерии и информационных технологий

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар22-7988)

    Шифр в сводном ЭК: 064e30aa30021e7f05b86d84cf77628a



    Заказ фрагмента документа ₽