Полное описание
>
Технология производства электровакуумных приборов: термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса : учебное пособие / С. П. Бычков, И. П. Ли, В. С. Петров [и др.]; под редакцией И. П. Ли, Ю. В. Панфилова ; Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2022. - 119 с. : ил. - (Учебное пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 114-117. - 165 экз. -
ISBN 978-5-7038-5823-3. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Изд. доступно в электрон. виде по адресу https://bmstu.press/catalog/item/7551/.
ГРНТИ УДК 47.13.09 621.385.032.9
Рубрики: Электровакуумное производство
Кл.слова (ненормированные): ГЕРМЕТИЗАЦИЯ -- МАГНЕТРОНЫ -- ОКСИДНЫЕ КАТОДЫ -- ОТКАЧКА ГАЗА -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ -- ТЕРМОАКУСТИЧЕСКОЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ
Аннотация: Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойства используемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника" в рамках дисциплины "Термовакуумные процессы и оборудование". Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.
Доп. точки доступа: Бычков, Сергей Павлович
Ли, Илларион Павлович
Петров, Владимир Семенович
Полунина, Алиса Александровна
Ханбеков, Иван Фэритович
Панфилов, Юрий Васильевич\ред.\
Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-22/74084)>
Шифр в сводном ЭК: 2239b04dc48eb726e403427d743a165f
Панфилов, Юрий Васильевич. Формирование функциональных слоев : учебное пособие / Ю. В. Панфилов, 2020. - 90, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Капустин, Владимир Иванович. Теория, электронная структура и физикохимия материалов катодов СВЧ-приборов : монография / В. И. Капустин, И. П. Ли ; под научной редакцией А. С. Сигова, 2021. - 368, [1] с. - Текст : непосредственный. Ли, Илларион Павлович. Физико-технологические принципы создания катодно-подогревательных узлов магнетронов с мгновенным временем готовности : специальность 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Ли Илларион Павлович, 2021. - 35 с. - Текст : непосредственный. Ханбеков, Иван Фэритович. Сокращение времени термовакуумной обработки магнетронов миллиметрового диапазона длин волн за счет ультразвукового активирования диффузионных и десорбционных процессов : 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ханбеков Иван Фэритович, 2021. - 16 с. - Текст : непосредственный. Технология производства электровакуумных приборов: термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса : учебное пособие / С. П. Бычков, И. П. Ли, В. С. Петров [и др.]; под редакцией И. П. Ли, Ю. В. Панфилова, 2022. - 119 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Капустин, Владимир Иванович. Точечные дефекты в оксидах и эмиссионные свойства : монография / В. И. Капустин, А. С. Сигов, И. П. Ли, В. А. Мельников, 2022. - 247 с. - Текст : непосредственный. Капустин, Владимир Иванович. Теория, электронная структура и физикохимия материалов катодов СВЧ приборов : Монография / МИРЭА - Российский технологический университет, 2022. - 370 с. - Текст : электронный. Бычков, Сергей Павлович. Отечественная история. Курс лекций : Курс лекций / Омский государственный университет им. Ф.М. Достоевского, 2022. - 320 с. - Текст : электронный. Библиотека "Приборостроение" : серия / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). Т. 2 : Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие / В. П. Михайлов, К. М. Моисеев, Ю. В. Панфилов, 2023. - 213 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Капустин, Владимир Иванович. Точечные дефекты в оксидах и эмиссионные свойства : Монография / МИРЭА - Российский технологический университет. - 248 с. - Текст : электронный. Руководство к решению задач по векторному анализу : выставочные материалы / Н. И. Сидняев, Н. М. Гордеева, Е. С. Попушина, О. Д. Рыбдылова, 2015. - 51 с. - Текст : непосредственный. Выполнение и чтение чертежей сборочных единиц в курсе "Инженерная графика" : выставочные материалы / Т. Л. Белобородова, Н. В. Палий, Л. С. Сенченкова, В. И. Серегин, 2015. - 65 с. - Текст : непосредственный. Деменков Н.П. Вычислительные методы решения задач оптимального управления на основе принципа максимума Понтрягина : выставочные материалы / Н. П. Деменков, 2015. - 78 с. - Текст : непосредственный. Кокуева Ж.М. Управление проектами : учебное пособие / Ж. М. Кокуева, 2018. - 142 с. - Текст : непосредственный. Ковгар А.А. Базовые средства ассемблера в языках высокого уровня : учебное пособие / А. А. Ковгар, В. П. Осипов, 2018. - 71 с. - Текст : непосредственный. Куприянов А.И. Радиосигналы и радиоустройства в информационных системах : учебное пособие : в двух частях. Ч. 2 : Основные радиотехнические процессы, устройства и системы, 2018. - 121 с. - Текст : непосредственный. Куприянов А.И. Радиосигналы и радиоустройства в информационных системах : учебное пособие : в двух частях. Ч. 1 : Радиосистемы и радиосигналы, 2018. - 119 с. - Текст : непосредственный. Вельтищев В.В. Методы имитационного моделирования систем управления движением подводного аппарата : учебное пособие / В. В. Вельтищев, А. Б. Минеев, 2018. - 122, [1] с. - Текст : непосредственный. Васильев Б.Е. Численное моделирование задач динамики и прочности деталей газотурбинных установок и двигателей : учебное пособие / Б. Е. Васильев, 2018. - 174 с. - Текст : непосредственный. Никитин А.В. Иерархические структуры данных: бинарные деревья : учебное пособие / А. В. Никитин, Т. Н. Ничушкина, 2018. - 53, [1] с. - Текст : непосредственный. Васильев, Игорь Александрович. Основы микропроцессорной техники с элементами моделирования в среде Multisim : учебное пособие / И. А. Васильев, 2018. - 59 с. - Текст : непосредственный. Ничушкина Т.Н. Разработка программ рекурсивной структуры : учебное пособие / Т. Н. Ничушкина, 2018. - 42, [5] с. - Текст : непосредственный. Гелин, Дмитрий Владиленович. Основные признаки и характеристики взрывоопасных предметов : учебное пособие / Д. В. Гелин [и др.], 2019. - 73 с. - Текст : непосредственный. Савченкова В.А. Комплексная оценка лесовозобновления на вырубках и проектирование лесовосстановительных работ : учебное пособие / В. А. Савченкова, 2019. - 56 с. - Текст : непосредственный. Вуллер А.А. Английский язык. Экология и промышленная безопасность : учебное пособие / А. А. Вуллер, Л. В. Степанова, 2019. - 50, [3] с. - Текст : непосредственный. Овечкин, Василий Сергеевич. Микроволновые твердотельные усилители : учебное пособие / В. С. Овечкин, А. И. Суворов, М. Е. Голубцов, 2019. - 92, [4] с. - Текст : непосредственный. Горелов В.А. Программные средства автоматизированного анализа динамики наземных транспортно-технологических комплексов : учебное пособие / В. А. Горелов, А. И. Комиссаров, Б. В. Падалкин, 2019. - 33, [2] с. - Текст : непосредственный. Гладков Н.А. Механика в общем курсе физики : учебное пособие / Н. А. Гладков, А. Н. Морозов, Ю. А. Струков, 2019. - 122, [1] с. - Текст : непосредственный. Леонов А.Г. Космические аппараты обслуживания : учебное пособие по дисциплине "Компоновка космических аппаратов": направление подготовки 24.00.00 "Авиационная и ракетно-космическая техника", специальность 24.05.01 "Проектирование, производство и эксплуатация ракет и ракетно-космических комплексов" (уровень специалитета) / А. Г. Леонов, В. В. Зеленцов, Г. А. Щеглов, 2019. - 48 с. - Текст : непосредственный. Никифоров, Юрий Валентинович. Адсорбционные воздухоразделительные установки для получения газообразного и жидкого азота : учебное пособие / Ю. В. Никифоров, А. А. Казакова, М. Б. Алёхина, 2019. - 63 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Кокуева Ж.М. Управление проектами : учебное пособие / Ж. М. Кокуева, 2018. - 142 с. - Текст : непосредственный. Чиж М.А. Разработка методов обработки радиоголографических данных для неразрушающего контроля диэлектрических покрытий / М. А. Чиж, 2018. - 21 с. - Текст : непосредственный. Кононов Г.Н. Методы определения компонентного состава древесных тканей : учебное пособие / Г. Н. Кононов, 2018. - 40, [4] с. - Текст : непосредственный. Аринчев С.В. MSC Apex. Рекомендации для начинающих : учебное пособие / С. В. Аринчев, А. В. Гуменюк, 2018. - 36 с. - Текст : непосредственный. Хасаншин Р.Х. Интерполяционные многочлены : учебное пособие / Р. Х. Хасаншин, П. А. Ивлиев, 2018. - 46 с. - Текст : непосредственный. Ковгар А.А. Базовые средства ассемблера в языках высокого уровня : учебное пособие / А. А. Ковгар, В. П. Осипов, 2018. - 71 с. - Текст : непосредственный. Новые подходы и технологии проектирования, производства, испытаний и промышленного дизайна изделий ракетно-космической техники / Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), 2018. - 475 с. - Текст : непосредственный. Кононов Г.Н. Методы синтеза и анализа производных растительных метаболитов : учебное пособие / Г. Н. Кононов, 2018. - 35, [4] с. - Текст : непосредственный. Котов А.А. Машины и механизмы в лесном и лесопарковом хозяйстве : учебное пособие / А. А. Котов, 2018. - 86 с. - Текст : непосредственный. Белоус В.В. Редактирование базы данных через интерфейс конечного пользователя : учебное пособие / В. В. Белоус, Н. В. Пивоварова, Е. М. Смирнова, 2018. - 20 с. - Текст : непосредственный. Подготовка главы "Безопасность жизнедеятельности" выпускной квалификационной работы бакалавра : учебно-методическое пособие / Н. В. Гренц [и др.], 2018. - 24 с. - Текст : непосредственный. Вельтищев В.В. Методы имитационного моделирования систем управления движением подводного аппарата : учебное пособие / В. В. Вельтищев, А. Б. Минеев, 2018. - 122, [1] с. - Текст : непосредственный. Васильев Б.Е. Численное моделирование задач динамики и прочности деталей газотурбинных установок и двигателей : учебное пособие / Б. Е. Васильев, 2018. - 174 с. - Текст : непосредственный. Меженная Н.М. Основы теории вероятностей и математической статистики : материалы для подготовки к семинарским занятиям: учебно-методическое пособие / Н. М. Меженная, И. А. Рудаков, 2018. - 117, [1] с. - Текст : непосредственный. Никитин А.В. Иерархические структуры данных: бинарные деревья : учебное пособие / А. В. Никитин, Т. Н. Ничушкина, 2018. - 53, [1] с. - Текст : непосредственный. Васильев И.А. Исследование и проектирование комбинационных логических устройств в программной среде Multisim : учебно-методическое пособие / И. А. Васильев, Е. С. Люминарская, 2018. - 21, [5] с. - Текст : непосредственный. Инновационные технологии реновации в машиностроении : сборник трудов Международной научно-технической конференции, посвящённой 150-летию факультета "Машиностроительные технологии" и кафедры "Технологии обработки материалов" МГТУ им. Н. Э. Баумана (4-5 февраля 2019 г., Москва) / Министерство науки и высшего образования РФ, Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), 2019. - 481 с. - Текст : непосредственный. Васильев, Игорь Александрович. Основы микропроцессорной техники с элементами моделирования в среде Multisim : учебное пособие / И. А. Васильев, 2018. - 59 с. - Текст : непосредственный. Ламинина О.Г. Основы теории социальной коммуникации: введение в специальность : учебно-методическое пособие / О. Г. Ламинина, 2018. - 76 с. - Текст : непосредственный. Захаров, Михаил Николаевич. Надежность механических систем : учебно-методическое пособие / М. Н. Захаров, П. А. Ларюшкин, 2018. - 40, [3] с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Зоркин А.Я. Формирование вакуумных и эмиссионных параметров электронных приборов : специальность 05.27.02 "Вакуумная и плазменная электроника" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. Я. Зоркин, 2006. - 36 с. - Текст : непосредственный. Прокофьев В.Г. Совершенствование процессов откачки, формирования эмиссионных характеристик катодов и гетметизации ЭВП : специальность 05.27.02 "Вакуумная и плазменная электроника" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. Г. Прокофьев, 2000. - 18 с. - Текст : непосредственный. Мельникова И.П. Разработка технологических процессов изготовления катодных систем с улучшенными физико-техническими характеристиками для мощных электровакуумных приборов / И. П. Мельникова, 2014. - 38 с. - Текст : непосредственный. Кройчук К.Л. Исследование и разработка барьерных пленок с толщинами до 100 А на входе микроканальных пластин для электровакуумных приборов 3-го поколения : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / К. Л. Кройчук, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный. Варламов В.А. Сборочные операции в электровакуумном производстве : выставочные материалы / В. А. Варламов, Е. И. Шехмейстер, 1974. - 360 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Иванов А.А. Технология электровакуумного производства / А. А. Иванов, 1939. - 240 с. - Текст : непосредственный. Лобанов С.В. Структура и автоэмиссионные свойства пирографита интеркалированного тройным карбонатом щелочноземельных металлов : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / С. В. Лобанов, 2018. - 19 с. - Текст : непосредственный. Житяев И.Л. Конструктивно-технологические решения изготовления наноразмерных автоэмиссионных катодов на основе пленок мультиграфена на карбиде кремния : специальность 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. Л. Житяев, 2019. - 23 с. - Текст : непосредственный. Бабанов А.Ж. Электрохимическое формообразование деталей электровакуумных приборов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.17.03 / А. Ж. Бабанов, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный. Лемякин А.А. Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.02 / А. А. Лемякин, 2009. - 22 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 1(1607) : Методы химической очистки деталей ЭВП и ее интенсификация ультразвуковыми колебаниями : По дан.отеч.и зарубеж.печати за 1945-1988 гг. / И.Ф.Ливенцева,В.С.Прилуцкий,Л.А.Радченко, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный. Емельянова Е.А. Автоматизация процесса выбора параметров импульсной обработки электродов при изготовлении электровакуумных приборов : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Е. А. Емельянова, 2009. - 16 с. - Текст : непосредственный. Чесноков Б.П. Высокие технологии электровакуумного производства / Б.П.Чесноков, 2000. - 173 с. - Текст : непосредственный. Коромыслова О.А. Численное исследование теплофизических и газодинамических процессов при электроплазменном напылении покрытий на деталях ЭВП и дентальных имплантатах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.09.10 / О. А. Коромыслова, 2002. - 20 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Иванов А.А. Технология электровакуумного производства / А. А. Иванов, 1939. - 240 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 1(1607) : Методы химической очистки деталей ЭВП и ее интенсификация ультразвуковыми колебаниями : По дан.отеч.и зарубеж.печати за 1945-1988 гг. / И.Ф.Ливенцева,В.С.Прилуцкий,Л.А.Радченко, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный. Чесноков Б.П. Высокие технологии электровакуумного производства / Б.П.Чесноков, 2000. - 173 с. - Текст : непосредственный. Повышение эффективности электровакуумного производства / А.С.Семенов,Р.Ф.Бартоломей,А.А.Смирнов,В.Б.Байбурин;Под ред.В.Б.Байбурина, 2000. - 103 с. - Текст : непосредственный. Мордюк В.С. Основы структурного материаловедения и специальные технологические процессы в электровакуумном производстве / В.С.Мордюк, 2001. - 88 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 1(1423) : Плазменные нераспыляемые газопоглотители в производстве изделий электронной техники : По дан.отеч.и зарубеж.печати за 1950-1988 гг. / Д.В.Быков,В.Н.Лясников,С.А.Филимонов, 1989. - 62 с. - Текст : непосредственный. Марков В.Г. Основы вакуумной техники и технологии производства вакуумных и газонаполненных приборов : учебное пособие / В. Г. Марков, 2020. - 195 с. - Текст : непосредственный. Вертеш М.Н. Виды загрязнений, их расположение на поверхности и технология очистки металлических и стеклянных деталей для сверхвысокого вакуума / М.Н.Вертеш, 1989. - 8 с. - Текст : непосредственный. Бешагин, Сергей Павлович. Огневое оснащение технологического оборудования электровакуумного производства : [производственно-техническое пособие для работников электровакуумной промышленности и смежных производств] / С. П. Бешагин, 1960. - 255, [1] с. - Текст : непосредственный. Технология производства электровакуумных приборов: термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса : учебное пособие / С. П. Бычков, И. П. Ли, В. С. Петров [и др.]; под редакцией И. П. Ли, Ю. В. Панфилова, 2022. - 119 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Кауфман, Михаил Симонович. Производство спиралей, сеток и вводов электровакуумных приборов / М. С. Кауфман, А. А. Кузнецова, Ю. А. Хруничев, 1962. - 262, [1] с. - Текст : непосредственный. Швачко, Александр Алексеевич. Основные технологии производства узлов вакуумных СВЧ приборов : учебное пособие / А. А. Швачко, 2024. - 94, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Данилин, Борис Степанович. Учебное пособие по курсу "Технология производства электровакуумных приборов" : для студентов электрофизического факультета специальности "Электронные приборы" / Б. С. Данилин, 1964. - 111, [1] с. - Текст : непосредственный. Зоркин А.Я. Формирование вакуумных и эмиссионных параметров электронных приборов : специальность 05.27.02 "Вакуумная и плазменная электроника" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. Я. Зоркин, 2006. - 36 с. - Текст : непосредственный. Грицкевич О.В. Исследования процессов формирования изображений произвольной геометрической формы и размеров на криволинейных поверхностях вращения с использованием лазерного излучения : специальность 01.04.05 "Оптика" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / О. В. Грицкевич, 1995. - 22 с. - Текст : непосредственный. Гальдин М.И. Откачка генераторных ламп / М. И. Гальдин, 1933. - 86 c. - Текст : непосредственный. Чесноков Б.П. Исследование физико-химических свойств электровакуумных материалов под воздействием гамма-излучения : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.хим.наук / Б. П. Чесноков, 1994. - 18 с. - Текст : непосредственный. Прокофьев В.Г. Совершенствование процессов откачки, формирования эмиссионных характеристик катодов и гетметизации ЭВП : специальность 05.27.02 "Вакуумная и плазменная электроника" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. Г. Прокофьев, 2000. - 18 с. - Текст : непосредственный. Мельникова И.П. Разработка технологических процессов изготовления катодных систем с улучшенными физико-техническими характеристиками для мощных электровакуумных приборов / И. П. Мельникова, 2014. - 38 с. - Текст : непосредственный. Кройчук К.Л. Исследование и разработка барьерных пленок с толщинами до 100 А на входе микроканальных пластин для электровакуумных приборов 3-го поколения : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / К. Л. Кройчук, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный. Варламов В.А. Сборочные операции в электровакуумном производстве : выставочные материалы / В. А. Варламов, Е. И. Шехмейстер, 1974. - 360 с. - Текст : непосредственный. Александрова А.Т. Оборудование электровакуумного производства : выставочные материалы / А. Т. Александрова, 1974. - 384 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Иванов А.А. Технология электровакуумного производства / А. А. Иванов, 1939. - 240 с. - Текст : непосредственный. Бабанов А.Ж. Электрохимическое формообразование деталей электровакуумных приборов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.17.03 / А. Ж. Бабанов, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный. Лемякин А.А. Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.02 / А. А. Лемякин, 2009. - 22 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽