Приложение
для AndroidПолное описание
Кузнецов, Г. Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова. - М. : Изд. дом МИСиС, 2008 (М.). - 190 с. : ил. - Библиогр.: с. 190 . - 200 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Московский институт стали и сплавов
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76-416 |
Рубрики:
Пленочная микроэлектроника
Доп. точки доступа:
Симакин, С. Б.
Демченкова, Д. Н.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-08/52950)
Шифр в сводном ЭК: 52e31257a9178a2c07f305d7f988a888
Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова, 2008. - 190 с. - Текст : непосредственный.Крапухин В.В. Технология материалов электронной техники.Теория процессов полупроводниковой технологии : выставочные материалы / В. В. Крапухин, И. А. Соколов, Г. Д. Кузнецов, 1995. - 492 с. - Текст : непосредственный.
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учеб. пособие / Г. Д. Кузнецов [и др.], 2012. - 127 с. - Текст : электронный.Кузнецов Г.Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, Б. А. Билалов, 2008. - 155 с. - Текст : непосредственный.Симакин С.Б. Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.06 / С. Б. Симакин, 2009. - 48 с. - Текст : непосредственный.Ионная полировка поверхности поликристалла ниобата лития / В. М. Гармаш, Г. Д. Кузнецов, А. С. Курочка, А. А. Сергиенко. - Текст : непосредственный // Микро- и нанотехнологии в электронике. - Нальчик : Каб.-Балк. гос. ун-т, 2009. - с. 55-57.Кузнецов Г.Д. Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния : особенности получения гетерокомпозиций на основе карбида кремния / Г. Д. Кузнецов, Н. И. Каргин, Г. К. Сафаралиев, 2019. - 205 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны : учеб. пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2012. - 96 с. - Текст : электронный.Кузнецов Г.Д. Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны : учеб. пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2012. - 96 с. - Текст : непосредственный.Курочка С.П. Вакуумная и плазменная электроника : курс лекций / С. П. Курочка, Г. Д. Кузнецов, А. С. Курочка, 2009. - 161 с. - Текст : непосредственный.Получение нанометровой шероховатости корпускулярно-лучевыми методами / Е. В. Одинокова, Б. И. Левин, А. В. Молчанов [и др.]. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XX юбил. науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, сент. 2013 г. - М. : МИЭМ, 2013. - с. 208-212Нейроинформатика - 2022 : XXIV Международная научно-техническая конференция, 17-21 октября 2022 г., г. Долгопрудный, Московская область: сборник научных трудов / Российская нейросетевая ассоциация [и др.], 2022. - 481 с. (Введено оглавление). - Текст (визуальный) : непосредственный.Модель и алгоритмы автоматической оценки результатов обучения нейронной сети / Р. О. Баринов, В. Е. Гай, И. В. Поляков [и др.]. - Текст : непосредственный // Нейроинформатика - 2022 : XXIV Международная научно-техническая конференция, 17-21 октября 2022 г., г. Долгопрудный, Московская область : сборник научных трудов / Российская нейросетевая ассоциация [и др.]. - Москва : МФТИ, 2022.- С.97-106
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыФизико-химические основы микроэлектроники. Процессы получения пленок / В. Г. Нефедов, О. Б. Гусев, Ю. С. Кулешов, О. В. Шакин, 1991. - 66 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова, 2008. - 190 с. - Текст : непосредственный.
Подвигалкин В.Я. Радиоэлектроника протяжённого пространства : монография / В. Я. Подвигалкин, 2019. - 257 с. - Текст : непосредственный.Мягков В.Г. Твердофазные реакции и фазовые превращения в слоистых наноструктурах / В. Г. Мягков, В. С. Жигалов; отв. ред. В. Ф. Шабанов, 2011. - 155 с. - Текст : непосредственный.Патрушева Т.Н. Растворные пленочные технологии : Учеб. пособие / Т.Н.Патрушева, 2002. - 140 с. - Текст : непосредственный.Патрушева Т.Н. Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / Т. Н. Патрушева, 2010. - 301 с. - Текст : непосредственный.Нефедов В.Г. Физико-химические основы микроэлектроники. Свойства тонких пленок : Учеб. пособие / В. Г. Нефедов, Ю. С. Кулешов, О. Б. Гусев, 1993. - 50 c. - Текст : непосредственный.Воробьев Г.А. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учеб. пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова, 1991. - 123 c. - Текст : непосредственный.Fracture toughness of silicon and thin film micro-structures by wedge indentation / M.P.de Boer,He Huang,J.C.Nelson и др., 1995. - Var.pag. - Текст : непосредственный.Румак Н.В. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н.В.Румак,В.В.Хатько;Под ред.В.Е.Борисенко, 1990. - 191 c. - Текст : непосредственный.Состояние разработок и перспективы использования ЭЦР источников плазмы для технологических процессов формирования пленочных структур в микроэлектронике и оптике / А.С.Вус,А.М.Дудкина,В.А.Дудкин и др., 1990. - 55 с. - Текст : непосредственный.Калмыков Ш.А. Оптика тонкопленочных систем : Конспект лекций / Ш.А.Калмыков, 1997. - 57 с. - Текст : непосредственный.Маликов, Илья Валентинович. Эпитаксиальные пленки тугоплавких, ферромагнитных и половинных металлов: получение, свойства и структуры на их основе : специальность 2.2.2. - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук / Маликов Илья Валентинович, 2024. - 42 с. - Текст : непосредственный.
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Физико-химические основы микроэлектроники. Процессы получения пленок / В. Г. Нефедов, О. Б. Гусев, Ю. С. Кулешов, О. В. Шакин, 1991. - 66 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова, 2008. - 190 с. - Текст : непосредственный.Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies: techniques, fundamentals and devices : сборник научных трудов / Ed.: O. Auciello, J. Engemann, 1993. - 633 p. - Текст : непосредственный.
Рыбакова А.Н. Магнитоанизотропные свойства пленочных систем CoPd, CoCr и CoPt, полученных с помощью твердофазного синтеза / А. Н. Рыбакова, 2017. - 22 с. - Текст : непосредственный.Подвигалкин В.Я. Радиоэлектроника протяжённого пространства : монография / В. Я. Подвигалкин, 2019. - 257 с. - Текст : непосредственный.Мягков В.Г. Твердофазные реакции и фазовые превращения в слоистых наноструктурах / В. Г. Мягков, В. С. Жигалов; отв. ред. В. Ф. Шабанов, 2011. - 155 с. - Текст : непосредственный.Патрушева Т.Н. Растворные пленочные технологии : Учеб. пособие / Т.Н.Патрушева, 2002. - 140 с. - Текст : непосредственный.Патрушева Т.Н. Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / Т. Н. Патрушева, 2010. - 301 с. - Текст : непосредственный.Нефедов В.Г. Физико-химические основы микроэлектроники. Свойства тонких пленок : Учеб. пособие / В. Г. Нефедов, Ю. С. Кулешов, О. Б. Гусев, 1993. - 50 c. - Текст : непосредственный.Гурьянов А.М. Свойства пленочных микро- и наноструктур с диэлектрическими слоями на основе оксидов редкоземельных элементов : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. М. Гурьянов, 2006. - 18 с. - Текст : непосредственный.Смирнова И.В. Разработка гадолиний- и боросиликатных наноразмерных пленок, формируемых методом золь-гель технологии : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 05.17.11 / И. В. Смирнова, 2007. - 19 с. - Текст : непосредственный.Кибардин А.В. Изменение профилей концентрации атомов в тонкопленочных структурах Me-Si при тепловом и радиационном воздействиях : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / А. В. Кибардин, 1996. - 27 с. - Текст : непосредственный.Кононенко О.В. Структура и свойства пленок металлов и полуметаллов, полученных методом частично ионизированного потока с высокой эффективностью ионизации : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / О. В. Кононенко, 1994. - 18 с. - Текст : непосредственный.Матвийкив М.Д. Исследование паразитных деформационных эффектов, возникающих в производстве и эксплуатации пленочных элементов интегральных устройств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.12.13:05.27.01 / М. Д. Матвийкив, 1996. - 32 с. - Текст : непосредственный.Трофимов С.М. Исследование свойств оптических, СВЧ и электронных элементов на основе полимерных и керамических подложек с тонким металлическим покрытием : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / С. М. Трофимов, 2004. - 22 с. - Текст : непосредственный.Ухов А.А. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. А. Ухов, 1995. - 14 с. - Текст : непосредственный.Авачев А.П. Влияние локализованных состояний аморфного гидрогенизированного кремния на свойства области пространственного заряда в тонкопленочных структурах : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. П. Авачев, 2007. - 19 с. - Текст : непосредственный.Гапоненко Н.В. Формирование пленочных структур золь-гель методом, их свойства и применение в микроэлектронике : автореф. дис. .. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / Н.В. Гапоненко, 2004. - 37 с. - Текст : непосредственный.Артамонов А.В. Разработка методов и исследование теплофизических свойств пленок и тонких фольг с использованием излучения лазеров, работающих в периодическом импульсном режиме : автореф. дис. .. канд. физ.-м. наук: 01.04.07 / А. В. Артамонов, 2009. - 22 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| |
Заказ фрагмента документа ₽