Приложение
для AndroidПолное описание
| ГРНТИ | УДК | |
| 29.19.16 | 539.23.08 |
Рубрики:
Пленки -- Производство -- Оборудование
Кл.слова (ненормированные): ВАКУУММЕТРЫ -- ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ -- КРИОГЕННЫЕ НАСОСЫ -- ПАРОСТРУЙНЫЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ -- ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ
Аннотация: Рассмотрены основные функциональные элементы вакуумных установок, средств откачки и контроля вакуума, методы контроля толщины тонких пленок и принцип работы промышленных вакуумных установок. Представлено описание лабораторных работ по каждому изучаемому разделу. Приведены необходимые справочные данные для проведения расчетов, обработки экспериментальных результатов и зависимостей. Даны рекомендации по оформлению отчета. Издание подготовлено на кафедре "Нано- и микроэлектроника" Пензенского государственного университета и предназначено для обучающихся по направлению подготовки "Электроника и наноэлектроника", "Нанотехнологии и микросистемная техника", а также других направлений, образовательные программы которых предусматривают изучение тонкопленочной технологии.
Доп. точки доступа:
Пензенский государственный технологический университет
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-21/98638)
Шифр в сводном ЭК: 6d6a5fbea3fe40574570708d161b6cb7
Головяшкин, Алексей Николаевич. Вакуумное оборудование напыления тонких пленок : учебное пособие / А. Н. Головяшкин, 2021. - 73, [2] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Головяшкин, Алексей Николаевич. Тонкоплёночная электроника : учебник / А. Н. Головяшкин, 2022. - 282, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Пономарева И.К. Аудит персонала : монография / И. К. Пономарева, 2018. - 167, С. 130-231 с. - Текст : непосредственный.Мартышкин А.И. Цифровое устройство для синхронизации задач на базе программируемых логических интегральных схем : монография / А. И. Мартышкин, 2018. - 191 с. - Текст : непосредственный.Пономарева И.К. Система мотивации персонала : монография / И. К. Пономарева, 2019. - 285 с. - Текст : непосредственный.Методы анализа данных и их реализация в системах поддержки принятия решений. Аспекты инжиниринга информационно-измерительных систем : учебное пособие / М. Ю. Михеев [и др.], 2018. - 146, [1] с. - Текст : непосредственный.Чигирева И.В. Разработка программного обеспечения информационных систем для сопровождения баз данных. Microsoft Visual Studio : учебное пособие / И. В. Чигирева, Е. А. Колобова, Д. В. Строганов, 2019. - 131 с. - Текст : непосредственный.Кудашева М.С. Информатика : учебное пособие / М. С. Кудашева, 2019. - 121 с. - Текст : непосредственный.Тарасова Т.В. Экономика и организация предприятия : учебник / Т. В. Тарасова, А. А. Кудрявцев, 2019. - 271 с. - Текст : непосредственный.Мартышкин А.И. Модели и средства сбора и представления информации из открытых социальных сетей для использования в системах принятия решений : монография / А. И. Мартышкин, Д. В. Пащенко, 2019. - 195 с. - Текст : непосредственный.Интеллектуальные системы и технологии : учебное пособие / Т. В. Жашкова, М. Ю. Михеев, Э. В. Роганова [и др.], 2019. - 101 с. - Текст : непосредственный.Информационные технологии в бизнес-планировании и разработке проектов : учебное пособие / Е. А. Колобова, А. Ю. Павлов, И. В. Чигирева, А. П. Ремонтов, 2019. - 2019 с. - Текст : непосредственный.Инновации в пищевой экструзии : монография / А. А. Курочкин [и др.], 2018. - 246 с. - Текст : непосредственный.Чернецов М.В. Логистика и CALS-технологии : учебное пособие / М. В. Чернецов, А. О. Холуденева, 2017. - 110 с. - Текст : непосредственный.Пиканина Г.Т. Управление разработкой и внедрением нового продукта : учебное пособие / Г. Т. Пиканина, Е. С. Григорян, Е. А. Соколова, 2018. - 129 с. - Текст : непосредственный.Григорян Е.С. Стратегический менеджмент : учебно-методическое пособие / Е. С. Григорян, 2018. - 33 с. - Текст : непосредственный.XXI век: итоги прошлого и проблемы настоящего плюс : журнал / Пензенский государственный технологический университет. - Журнал выходит с 2011г. - Текст : непосредственный.Симанин Н.А. Измерительные преобразователи систем адаптивного управления гидравлическими приводами промышленного оборудования (расчет и проектирование) : монография / Н. А. Симанин, В. В. Голубовский, А. Н. Расстегаев, 2019. - 201 с. - Текст : непосредственный.Таранцев К.В. Процессы и аппараты для создания и разрушения эмульсий со слабопроводящей сплошной средой в электрическом поле : монография / К. В. Таранцев, 2019. - 184, [1] с. - Текст : непосредственный.Мартышкин А.И. Аппаратная реализация функций планирования и диспетчеризации задач и многопоточность как факторы, влияющие на производительность параллельной вычислительной системы : монография / А. И. Мартышкин, 2019. - 219 с. - Текст : непосредственный.Григорян Е.С. Основы бизнес-планирования : учебное пособие / Е. С. Григорян, 2019. - 84 с. - Текст : непосредственный.Григорян Е.С. Управление социально-трудовыми отношениями : монография / Е. С. Григорян, 2019. - 103 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыIBM Journal Research <& >Development / IBM. - Журнал выходит с 1957г. - Текст : непосредственный. Neuffer A. Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle / A. Neuffer, 1999. - 113 S. - Текст : непосредственный.Physics of thin films. Advances in research and development / Ed.:G.Hass. Vol. 15 : Thin films for advanced electronic devices: Xerox.(3 kor.), 1991. - XII,332 p. p. - Текст : непосредственный.Structure of surfaces and interfaces as studied using synchrotron radiation : материал технической информации, 1990. - 341 p. - Текст : непосредственный.Thin films: trends and new applications : Proc. of the 2nd intern. symp. on trends and new applications in thin films, Regensburg, F.R.G., 27 Febr.- 3 Mar., 1989 / Ed.:H.Hoffmann. Vol. 1, 1989. - XII,336 p. p. - Текст : непосредственный.Thin films: trends and new applications : Proc. of the 2nd intern. symp. on trends and new applications in thin films, Regensburg, F.R.G., 27 Febr.- 3 Mar., 1989 / Ed.:H.Hoffmann. Vol. 2, 1989. - IX,353 p. p. - Текст : непосредственный.Лазерная атомно-молекулярная технология и диагностика элементарных процессов : сборник / Ред. Н. И. Коротеев, 1990. - 222 с. - Текст : непосредственный.Семенов А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение / А. П. Семенов, 1999. - 207 с. - Текст : непосредственный.structure of surfaces III : материалы временных коллективов / Ed. S. Y. Tong, 1991. - XVIII,683 p. p. - Текст : непосредственный. IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1999г. т. 43 № 5/6. IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1995г. т. 39 № 6. Mebert J. Untersuchung der Phononenstreung in amorphen Einzel- und Mehrfachschichten und der Zusammenhang mit den Tieftemperaturanomalien glaserner Systeme / J. Mebert, 1991. - 187 S. - Текст : непосредственный.Zeppenfeld P. Phasenubergange und Dynamik von Festkorperoberflachen und physisorbierten Schichten / P. Zeppenfeld, 1989. - 166 S. - Текст : непосредственный.Ниматов С.Ж. ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков : специальность 01.04.04 "Физическая электроника" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. Ж. Ниматов, 1991. - 22 с. - Текст : непосредственный.IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1993г. т. 37 № 5. IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1997г. т. 41 № 4/5. IBM Journal Research <& >Development. - Журнал, 1999г. т. 43 № 3.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Kleijn C.R. Transport phenomena in chemical vapor deposition reactors : Diss. / C.R.Kleijn, 1991. - IX,260 p. p. - Текст : непосредственный.Головяшкин, Алексей Николаевич. Вакуумное оборудование напыления тонких пленок : учебное пособие / А. Н. Головяшкин, 2021. - 73, [2] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Технология элементов электронной компонентной базы : учебно-методическое пособие / Е. Н. Сапего, А. А. Никитин, А. В. Тумаркин [и др.], 2024. - 31 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽