• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Патрушева, Тамара Николаевна. Безопасность при работах по нанесению тонких пленок / Т. Н. Патрушева, С. К. Петров ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Балтийский государственный технический университет "Военмех". - Санкт-Петербург : БГТУ, 2021. - 152, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 146-152 (113 назв.). - 300 экз. - ISBN 978-5-907324-46-6. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    29.19.16539.23

    Рубрики:
    Пленки -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОД -- НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ -- ОКСИДНЫЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
    Аннотация: Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенерации отработанных растворов в цехах химической и электрохимической металлизации и охраны труда при производстве этих работ, а также перспективные методы получения полимерных и оксидных пленок.
    Доп. точки доступа:
    Петров, Сергей Константинович
    Балтийский государственный технический университет "Военмех" (Санкт-Петербург)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-21/97487)

    Шифр в сводном ЭК: f564b18acf4e315903f51b11fe4555bf



    Заказ фрагмента документа ₽