• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Богданов, Сергей Александрович. Исследование плазмохимического синтеза алмазных плёнок в газах с контролируемой добавкой примесей : 01.04.08 - физика плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Богданов Сергей Александрович ; Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук (ИПФ РАН). - 2021. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-23. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    38.35.21549.211:539.23(043)

    Кл.слова (ненормированные): ВОДОРОД -- МЕТАН -- МЕТОД CVD -- РОСТ АЛМАЗА -- УГЛЕРОДСОДЕРЖАЩИЙ ГАЗ
    Доп. точки доступа:
    Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук (Нижний Новгород)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар21-4903)

    Шифр в сводном ЭК: 1b3073628f4907b9ab50695ead91aaf5



    Заказ фрагмента документа ₽