Приложение
для AndroidПолное описание
Голованов, Антон Владимирович. Травление планарных структур "алмаз-металл" и "алмаз-диэлектрик" высокочастотным газовым разрядом низкого давления : специальность 01.04.07 - Физика конденсированного состояния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Голованов Антон Владимирович ; Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов. - 2021. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-23. - 80 экз. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.315.592:621.794(043) |
Кл.слова (ненормированные): АЛМАЗНЫЕ ИЗДЕЛИЯ -- АЛМАЗНЫЕ МИКРОСТРУКТУРЫ -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов (Троицк)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар21-4535)
Шифр в сводном ЭК: 238948fc8fcfcf0e7b1c3ea08f2c5449
Сорокин П.Б. Краткое введение в теорию современных методов моделирования на атомном уровне : учебное пособие / П. Б. Сорокин, 2018. - 60 с. - Текст : непосредственный.Львова, Наталья Анатольевна. Моделирование взаимодействия частиц, содержащих водород, кислород, фтор, углерод, азот, фосфор, со структурными дефектами на поверхности алмаза, графена и гексагонального нитрида бора : 02.00.21 - Химия твердого тела: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора химических наук / Львова Наталья Анатольевна, 2021. - 32 с. - Текст : непосредственный.Голованов, Антон Владимирович. Травление планарных структур "алмаз-металл" и "алмаз-диэлектрик" высокочастотным газовым разрядом низкого давления : специальность 01.04.07 - Физика конденсированного состояния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Голованов Антон Владимирович, 2021. - 23 с. - Текст : непосредственный.Приходько, Дмитрий Дмитриевич. Магнитооптическая спектроскопия примесных центров в синтетическом алмазе : 01.04.10 - Физика полупроводников: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Приходько Дмитрий Дмитриевич, 2021. - 29 с. - Текст : непосредственный.Ярославцев, Алексей Алексеевич. Влияние локального окружения меди на магнитные и транспортные свойства соединений группы тетраэдрита-теннантита : специальность 1.3.8. - "Физика конденсированного состояния": автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук / Ярославцев Алексей Алексеевич, 2022. - 25 с. - Текст : непосредственный.Ларионов, Константин Владимирович. Теоретическое исследование структурных, электронных и магнитных свойств новых низкоразмерных соединений на основе переходных металлов : специальность: 1.3.8 - Физика конденсированного состояния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Ларионов Константин Владимирович, 2022. - 25 с. - Текст : непосредственный.Гладких, Екатерина Владимировна. Исследование методом динамического индентирования механических свойств облученных реакторных материалов : 1.3.8 - Физика конденсированного состояния: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук / Гладких Екатерина Владимировна, 2022. - 27 с. - Текст : непосредственный.Асалиева, Екатерина Юрьевна. Кобальт-алюминий-цеолитные композиции и их каталитические свойства в реакции Фишера-Тропша : 1.4.12. Нефтехимия, 1.4.1. Неорганическая химия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук / Асалиева Екатерина Юрьевна, 2023. - 25 с. - Текст : непосредственный.Куржумбаев, Дидар Жаксылыкович. Взаимодействие электромагнитного излучения микроволнового диапазона с материалами, содержащими углеродные нанотрубки : специальность: 1.3.8. Физика конденсированного состояния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Куржумбаев Дидар Жаксылыкович, 2025. - 19 с. - Текст : непосредственный.
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМатасов М.Д. Влияние спектрального состава света и фазового состава полупроводниковой мишени на вторично-ионный фотоэффект : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / М. Д. Матасов, 2013. - 16 с. - Текст : непосредственный.Можаев А.В. Динамическая модель процессов формирования трехмерных кластеров в кремнии : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. В. Можаев, 2010. - 17 с. - Текст : непосредственный.Абрамова Е.Н. Механизм образования пор в Si n- и p-типов проводимости при его электрохимическом травлении в растворах фтористоводородной кислоты : 02.00.04 - Физическая химия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук / Е. Н. Абрамова, 2019. - 37 с. - Текст : непосредственный.Капинос С.П. Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.04 / С. П. Капинос, 2012. - 16 с. - Текст : непосредственный.Голованов, Антон Владимирович. Травление планарных структур "алмаз-металл" и "алмаз-диэлектрик" высокочастотным газовым разрядом низкого давления : специальность 01.04.07 - Физика конденсированного состояния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Голованов Антон Владимирович, 2021. - 23 с. - Текст : непосредственный.Побережная, Ульяна Максимовна. Свойства воспламенительных составов на основе пористого кремния : 2.6.12. Xимическая технология топлива и высокоэнергетических веществ: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Побережная Ульяна Максимовна, 2025. - 21 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽