Полное описание

Михайлов, Валерий Павлович. Механизмы прецизионных перемещений : учебное пособие / В. П. Михайлов, А. М. Базиненков ; Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с. 206-207. - 100 экз. - ISBN 978-5-7038-5529-4. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Изд. доступно в электрон. виде по адресу https://bmstu.press/catalog/item/7110.

ГРНТИ	УДК
55.03.07	681
50.43	681.532.1
55.13	621-181.4-047.84

Рубрики:
Точные механизмы
Позиционеры
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): АНАЛИЗ И СИНТЕЗ -- ВИБРАЦИОННАЯ ЗАЩИТА -- ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- МЕХАНИЗМЫ ТОЧНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ -- МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЯ -- МИКРОТЕХНОЛОГИИ -- НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЯ -- НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ПОЗИЦИОНИРОВАНИЕ -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- УПРАВЛЕНИЕ
Аннотация: Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро- и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки "Электроника и наноэлектроника" "Наноинженерия".
Доп. точки доступа:
Базиненков, Алексей Михайлович
Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-21/71548)

Шифр в сводном ЭК: 7cd031093f4f29d046cc27228320709e

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽