• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Шведов, Андрей Викторович. Исследование и разработка процессов модификации поверхности полимерных материалов микро- и оптоэлектроники на основе низкочастотного газового разряда плазмы атмосферного давления : специальность 05.16.09 - Материаловедение (Машиностроение): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Шведов Андрей Викторович. - 2020. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (10 назв.). - 50 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09621.3.049.76-03-047.84(043)
    621.383-03-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ -- ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ -- УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ -- ФТОРУГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар20-6363)

    Шифр в сводном ЭК: 781bf91bf68c3e17b2b421fa2fe4194d



    Заказ фрагмента документа ₽