Полное описание
> Сорокин, И. Н. Технология электронных компонентов / И. Н. Сорокин, М. В. Акуленок. - М. : [б. и.], 1999. - 196 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 5-7256-0222-2. - Текст : непосредственный. В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники.Библиогр.:с.193 (8 назв.)
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.76.002
Рубрики: Микроэлектронные приборы -- Производство
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа: Акуленок, М.В.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-99/54229)>
Шифр в сводном ЭК: a3994c397426d466a7454092373cb7b9
Сорокин И.Н. Диэлектрические пленки в полупроводниковой электронике / И. Н. Сорокин, М. В. Акуленок, 1995. - 116 c. - Текст : непосредственный. Акуленок М.В. Статистическое управление процессами : учеб. пособие. Ч. 1 : Контрольные карты управляемости процессов, 2013. - 84 с. - Текст : непосредственный. Сорокин И.Н. Технология электронных компонентов / И. Н. Сорокин, М. В. Акуленок, 1999. - 196 с. - Текст : непосредственный. Акуленок М.В. Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. В. Акуленок, 1990. - 17 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Акуленок М.В. Основы менеджмента риска : учебное пособие / М. В. Акуленок, 2017. - 51 с. - Текст : непосредственный. Акуленок М.В. Аудит качества : учебное пособие / М. В. Акуленок, В. П. Граб, 2019. - 112 с. - Текст : непосредственный. Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : в 2 т. / М. В. Акуленок [и др.]. Т. 2 : Технологические аспекты, 2011. - 252 с. - Текст : непосредственный. Расчетные и экспериментальные оценки поля рентгеновского излучения, создаваемого высоковольтными элементами установки "ускоритель-тандем БНЗТ" / А. Г. Башкирцев [и др.], 2012. - 18 с. - Текст : непосредственный. Регистрация темного тока большой интенсивности в ускорителе-тандеме с вакуумной изоляцией после увеличения апертуры ускорительного канала / В. И. Алейник [и др.], 2012. - 14 с. - Текст : непосредственный. Сорокин И.Н. Физико-химические основы прочности неразъемных соединений микроэлектронных устройств : Учеб. пособие по курсу "Физ.-хим. основы технологии микроэлектроники" / И.Н.Сорокин,Г.А.Яковлев, 1994. - 199 c. - Текст : непосредственный. Акуленок М.В. Эпитаксиальные процессы в технологии микроэлектроники : Учеб.пособие по курсу "Физ.-хим.основы технологии микроэлектроники" / М.В.Акуленок, 1993. - 84 c. - Текст : непосредственный. Крючков А.М. Работы по исследованию и созданию ускорительных трубок высоковольтных ускорителей заряженных частиц / А. М. Крючков, И. Н. Сорокин, В. В. Широков, 1994. - 39 c. - Текст : непосредственный. Акуленок М.В. Сборник задач и упражнений по курсу "Технология электронных компонентов" : Учеб. пособие для студентов вузов по специальностям "Материалы и компоненты твердотел. электроники", "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" и направлению "Электроника и микроэлектроника" / М.В.Акуленок;Под ред. И.Н.Сорокина, 1998. - 108 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Семенов Ю.Г. Контроль качества / Ю. Г. Семенов, 1990. - 111 c. - Текст : непосредственный. Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Кормилицын О.П. Механика материалов и структур нано- и микротехники : учебное пособие / О. П. Кормилицын, Ю. А. Шукейло, 2008. - 216 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Ермаков А.В. Исследование механизмов создания наноструктур на поверхности твердого тела с помощью сканирующего туннельного микроскопа и микроскопа атомных сил : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. В. Ермаков, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Элионная обработка / О. С. Моряков, 1989. - 128 c. - Текст : непосредственный. Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный. Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный. Новые магнитные материалы микроэлектроники, 2000. - 889 с. - Текст : непосредственный. Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис, 1997. - 168 с. - Текст : непосредственный. Растова Н.А. Энергетический спектр электронов в двумерных ковалентных структурах с локальными дефектами на поверхности / Н. А. Растова, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный. Мазуренко С.Н. Синхронное излучение в технологических процессах микроэлектроники / С. Н. Мазуренко, В. В. Мануйлов, В. М. Матвеев, 1994. - 75 c. - Текст : непосредственный. Бакланов М.Р. Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si,Ge и SiO : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени / М. Р. Бакланов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный. Умаров С.И. Взаимодействие алюминия со стронцием, индием и кремнием и разработка высокочистых алюминиевых сплавов : специальность 02.00.01 "Неорганическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / С. И. Умаров, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный. Давыдов В.Н. Исследование и разработка двухкоординатных систем прецизионного перемещения в вакуумных корпускулярно-лучевых установках : специальность 05.13.05 "Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. Н. Давыдов, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽