• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ковалев, Владимир Витальевич. Светодиодный эллипсометр со статичной схемой измерения оптических констант и толщин тонких пленок : 05.11.16 - Информационно-измерительные и управляющие системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ковалев Владимир Витальевич. - 2020. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (12 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    90.27.37681.785.35(043)
    29.19.16539.216.2(043)

    Кл.слова (ненормированные): АППАРАТНО-ПРОГРАММНЫЕ СРЕДСТВА -- ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ -- МНОГОСЛОЙНЫЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ -- ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар20-4970)

    Шифр в сводном ЭК: 8079e4b9c1eea22102b8c8a43a458b74



    Заказ фрагмента документа ₽