• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Рентгеновская спектроскопия для исследования состава и структуры пористого кремния : учебное пособие / С. Ю. Турищев, В. А. Терехов, О. А. Чувенкова [и др.] ; Министерство науки и высшего образования РФ, Воронежский государственный университет. - Воронеж : Издательский дом ВГУ, 2019. - 99 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 89-99 (97 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-9273-2912-0. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.09.48621.315.592.9-022.532
    47.09.29

    Рубрики:
    Наноструктурные материалы полупроводниковые -- Методы исследования

    Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- НАНОПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ -- НАНОЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПЛАНАРНЫЕ КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- УЛЬТРАМЯГКАЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
    Аннотация: Учебное пособие посвящено вопросам контроля и анализа физико-химического состояния кремниевых наноструктур пониженной размерности. Рассматриваемые вопросы особенно важны сегодня, когда нанотехнологии являются неотъемлемой частью большинства высокотехнологичных производств, а прямые взаимодополняющие высокоточные методы исследования крайне востребованы. Не является исключением и такой всесторонне изученный объект, как пористый кремний - перспективный материал полупроводниковой микро- и наноэлектроники, а также удобный функциональный материал широкого ряда иных технологических решений. Текст печатается в точном соответствии с файлом-оригиналом, представленным авторами. Для студентов, изучающих дисциплины "Рентгеновская и электронная спектроскопия", "Методы диагностики и анализа микро- и наносистем", "Синхротронные исследования наноструктур и наноматериалов", "Основные материалы наноэлектроники" и др.
    Доп. точки доступа:
    Турищев, Сергей Юрьевич
    Терехов, Владимир Андреевич
    Чувенкова, Ольга Александровна
    Паринова, Елена Владимировна
    Домашевская, Эвелина Павловна
    Воронежский государственный университет

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/83349)

    Шифр в сводном ЭК: 82afbdbbd6fcc46ad35bd0b091027120



    Заказ фрагмента документа ₽