Полное описание
>
Рентгеновская спектроскопия для исследования состава и структуры пористого кремния : учебное пособие / С. Ю. Турищев, В. А. Терехов, О. А. Чувенкова [и др.] ; Министерство науки и высшего образования РФ, Воронежский государственный университет. - Воронеж : Издательский дом ВГУ, 2019. - 99 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 89-99 (97 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-9273-2912-0. - Текст (визуальный) : непосредственный.| ГРНТИ | УДК | |
| 47.09.48 | 621.315.592.9-022.532 | |
| 47.09.29 |
Рубрики:
Наноструктурные материалы полупроводниковые -- Методы исследования
Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ -- НАНОПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ -- НАНОЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПЛАНАРНЫЕ КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- УЛЬТРАМЯГКАЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
Аннотация: Учебное пособие посвящено вопросам контроля и анализа физико-химического состояния кремниевых наноструктур пониженной размерности. Рассматриваемые вопросы особенно важны сегодня, когда нанотехнологии являются неотъемлемой частью большинства высокотехнологичных производств, а прямые взаимодополняющие высокоточные методы исследования крайне востребованы. Не является исключением и такой всесторонне изученный объект, как пористый кремний - перспективный материал полупроводниковой микро- и наноэлектроники, а также удобный функциональный материал широкого ряда иных технологических решений. Текст печатается в точном соответствии с файлом-оригиналом, представленным авторами. Для студентов, изучающих дисциплины "Рентгеновская и электронная спектроскопия", "Методы диагностики и анализа микро- и наносистем", "Синхротронные исследования наноструктур и наноматериалов", "Основные материалы наноэлектроники" и др.
Доп. точки доступа:
Турищев, Сергей Юрьевич
Терехов, Владимир Андреевич
Чувенкова, Ольга Александровна
Паринова, Елена Владимировна
Домашевская, Эвелина Павловна
Воронежский государственный университет
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-19/83349)>
Шифр в сводном ЭК: 82afbdbbd6fcc46ad35bd0b091027120
Рентгеновская спектроскопия для исследования состава и структуры пористого кремния : учебное пособие / С. Ю. Турищев, В. А. Терехов, О. А. Чувенкова [и др.], 2019. - 99 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования : сборник тезисов I Всероссийской молодежной конференции (г. Воронеж, 13-15 декабря 2021 г.) / Воронежский государственный университет, 2021. - 59 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования : сборник тезисов II Всероссийской молодежной конференции (г. Воронеж, 12-17 сентября 2022 г.) / Воронежский государственный университет, 2022. - 124, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования : сборник тезисов III Всероссийской молодежной конференции (г. Воронеж, 9-14 октября 2023 г.) / Воронежский государственный университет, 2023. - 198 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Рентгеновская дифрактометрия нанокристаллов : учебное пособие / Ю. А. Юраков, С. Ю. Турищев, О. А. Чувенкова [и др.], 2019. - 58 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования : сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции (г. Воронеж, 30 сентября-5 октября 2024 г.) / Воронежский государственный университет, 2024. - 240 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Домашевская, Эвелина Павловна. Сенсорная электроника, датчики: твердотельные сенсорные структуры на кремнии : учебник для вузов / Э. П. Домашевская [и др.] ; под редакцией А. М. Ховива., 2026. - 203 с. - Текст : электронный.
Вестник Воронежского Государственного Университета : Науч. журн. Сер., География и геоэкология / Воронежский ун-т. - Журнал выходит с 1993г. - Текст : непосредственный.Ракетно-космическая техника и технология, 2010 : труды Российской научно-технической конференции, посвященной 50-летию образования кафедры "Ракетные двигатели" ВГТУ (г. Воронеж, 28-29 октября 2010 г.) / Федеральное космическое агентство, ОАО "Конструкторское бюро химавтоматики" [и др.], 2010. - 231 с. - Текст : непосредственный.Аналитический контроль качества природных, питьевых и сточных вод / Воронежский государственный университет, 2017. - 222 с. - Текст : непосредственный.Геоинформационное картографирование в регионах России / Воронежский государственный университет, 2017. - 100 с. - Текст : непосредственный.Современные методы и проблемы математической гидродинамики - 2018 / Воронежский государственный университет, 2018. - 293, [3] с. - Текст : непосредственный.Деньги, кредит, банки / Е. Ф. Сысоева, С. А. Абрамов, А. И. Барабанов, И. Т. Затонских, 2017. - 222 с. - Текст : непосредственный.Сычев А.В. Информатика : учебное пособие / А. В. Сычев, 2017. - 125 с. - Текст : непосредственный.Математическое моделирование и информационные технологии в инженерных и бизнес-приложениях / Воронежский государственный университет, 2018. - 387 с. - Текст : непосредственный.Нагина Е.К. Компьютерные технологии в финансовой деятельности : учебное пособие / Е. К. Нагина, Е. Ф. Сысоева, 2017. - 225, [1] с. - Текст : непосредственный.Туровский Я.А. Введение в конструирование перспективных интерфейсов человек - компьютер : учебное пособие / Я. А. Туровский, С. Д. Кургалин, 2017. - 185, [1] с. - Текст : непосредственный.Общая и системная экология: состояние и перспективы развития : учебное пособие / Т. А. Девятова, Л. Н. Хицова, Е. В. Моисеева, В. Г. Артюхов, 2018. - 184, [1] с. - Текст : непосредственный.Дуракова И.Б. Внутренний маркетинг персонала: факторы, стратегия, зарубежный опыт : монография / И. Б. Дуракова, И. В. Ковалева, 2017. - 102, [1] с. - Текст : непосредственный.Пенионжкевич Ю.Э. Современные ускорители заряженных частиц и их приложение : учебное пособие / Ю. Э. Пенионжкевич, В. М. Вахтель, 2018. - 110, [1] с. - Текст : непосредственный.Гасилов В.В. Управление экономической безопасностью организаций / В. В. Гасилов, А. В. Воротынцева, А. Н. Сова, 2017. - 238 с. - Текст : непосредственный.Учет, анализ и контроль в корпорациях : монография / Д. А. Ендовицкий, Н. А. Бреславцева, С. А. Звягин [и др.], 2018. - 329, [1] с. - Текст : непосредственный.Консолидированная финансовая отчетность : учебное пособие / Ю. Б. Волкова, Т. А. Лаврухина, Н. Н. Решетова [и др.], 2017. - 93 с. - Текст : непосредственный.Холявка М.Г. Микробные биотехнологии: теоретический и практический аспекты : учебное пособие / М. Г. Холявка, М. А. Наквасина, В. Г. Артюхов, 2017. - 234 с. - Текст : непосредственный.Холявка М.Г. Инулиназы в условиях различного микроокружения: биофизические, кинетические и структурно-функциональные свойства : монография / М. Г. Холявка, В. Г. Артюхов, 2018. - 285, [1] с. - Текст : непосредственный.Мишон Е.В. Деловые коммуникации : учебное пособие / Е. В. Мишон, 2017. - 88 с. - Текст : непосредственный.Беленова Н.Н. Теория организации / Н. Н. Беленова, 2018. - 57 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПерминов В.Н. Электронное строение и энергетический спектр поверхности диоксида кремния, модифицированного ионами 3d- и 4d-элементов : специальность 01.04.04 "Физическая электроника" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / В. Н. Перминов, 2006. - 18 с. - Текст : непосредственный.Смоликов А.А. Наноматериалы : разговорник / А. А. Смоликов, 2006. - 83 с. - Текст : непосредственный.Ищенко А.А. Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля / А. А. Ищенко, Г. В. Фетисов, Л. А. Асланов, 2011. - 647 с. - Текст : непосредственный.Кажева О.Н. Синтез и строение новых молекулярных проводников на основе катион-радикальных солей с анионами, содержащими ртуть и редкоземельные элементы : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / О. Н. Кажева, 2002. - 20 с. - Текст : непосредственный.Дорожкин С.И. Рост слитков и эволюция пор в карбиде кремния : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. И. Дорожкин, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный.Егоров А.Ю. Азотсодержащие полупроводниковые твердые растворы AIIIBV-N - новый материал оптоэлектроники : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / А. Ю. Егоров, 2011. - 40 с. - Текст : непосредственный.Тензорезистивная структура гетерогенных материалов / С. Х. Шамирзаев, М. Х. Агзамова, Н. А. Ахмедова, 1990. - 35 с. - Текст : непосредственный.IWNMS 2004 / SpringerLink (Online service), 2005 r=on-line. - Текст : электронный.Варлачев В.А. Нейтронное трансмутационное легирование кремния в бассейновом исследовательском ядерном реакторе / В. А. Варлачев, 2015. - 48 с. - Текст : непосредственный.Кремний-2004 : материалы временных коллективов / Институт геохимии им. А. П. Виноградова (Иркутск), 2004. - 244 с. - Текст : непосредственный.Microelectronic Engineering. - Журнал выходит с 1983г.Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 9(1506) : Особенности получения и области применения пористого кремния в электронной технике : По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1970-1988 гг. / К.П.Николаев,Л.И.Немировский, 1989. - 60 с. - Текст : непосредственный.Талипов Н.Х. Физико-технологические основы легирования узкозонных полупроводниковых соединений CdxHg1-xTe радиационно-термическими воздействиями / Н. Х. Талипов, 2015. - 46 с. - Текст : непосредственный.Новые магнитные материалы микроэлектроники, 2000. - 889 с. - Текст : непосредственный.Столяров С.М. Получение многокомпонентных полупроводниковых материалов на основе соединений А В с заданными свойствами : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. М. Столяров, 1998. - 15 с. - Текст : непосредственный.Воробьев В.В. Нерасходящееся излучение пучков заряженных частиц в присутствии планарных и объемных периодических структур из параллельных проводников / В. В. Воробьев, 2016. - 19 с. - Текст : непосредственный.INFOS 2007 : материалы временных коллективов / Conference on insulating films on semiconductors (15th ; 2007 ; Glyfada Athens), 2007. - XII, 1845-2439 p. - Текст : непосредственный.International Journal of Electronics. - Журнал выходит с 1965г. r=on-line. - Текст : электронный.Усеинов А.С. Измерение модуля упругости высокотемпературных полупроводниковых материалов и других твердых тел методом сканирующей силовой микроскопии : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. С. Усеинов, 2004. - 25 с. - Текст : непосредственный.Карасева Т.В. Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей : выставочные материалы / Т. В. Карасева, 2014. - 126 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыДмитриев А.И. Спиновая динамика в наноструктурах магнитных полупроводников / А. И. Дмитриев, 2008. - 20 с. - Текст : непосредственный.Ищенко А.А. Нанокремний: свойства, получение, применение, методы исследования и контроля / А. А. Ищенко, Г. В. Фетисов, Л. А. Асланов, 2011. - 647 с. - Текст : непосредственный.Schuller C. Inelastic light scattering of semiconductor nanostructures / C. Schuller, 2006 r=on-line. - Текст : электронный.Пономарев Д.С. Электронный транспорт в составных квантовых ямах InAlAs/InGaAs/InAlAs, содержащих наноразмерные вставки InAs / Д. С. Пономарев, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Рыбковский Д.В. Электронная структура двумерных и нульмерных нанообъектов селенида галлия : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. В. Рыбковский, 2014. - 21 с. - Текст : непосредственный.Степанов А.С. Исследование электронного транспорта в планарных наноструктурах молекулярного масштаба : специальность 01.04.04 "Физическая электроника", 01.0401 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. С. Степанов, 2014. - 23 с. - Текст : непосредственный.Алам Махмудул.Получение и исследование наноструктурированных гибридных материалов InSb-MnSb с высокими критическими температурами : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Алам Махмудул, 2013. - 20 с. - Текст : непосредственный.Бурдов В.А. Процессы релаксации и энергообмена в массивах кремниевых нанокристаллов : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / В. А. Бурдов, 2013. - 36 с. - Текст : непосредственный.Румянцев В.В. Фотопроводимость и фотолюминесценция эпитаксиальных пленок и структур с квантовыми ямами на основе HgCdTe в среднем и дальнем инфракрасном диапазоне / В. В. Румянцев, 2014. - 19 с. - Текст : непосредственный.Рыжов И.И. Спектроскопия спиновых шумов полупроводниковых наноструктур / И. И. Рыжов, 2016. - 16 с. - Текст : непосредственный.Ворох А.С. Неупорядоченная атомная структура наночастиц сульфида кремния : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. С. Ворох, 2009. - 23 с. - Текст : непосредственный.Садовников С.И. Нанокристаллический сульфид свинца: синтез, структура и свойства / С. И. Садовников, 2011. - 23 с. - Текст : непосредственный.Андроников Д.А. Отрицательно заряженные экситонные комплексы в модулированно-легированных квантовых ямах на основе CdTe в присутствии внешнего магнитного поля / Д. А. Андроников, 2013. - 16 с. - Текст : непосредственный.Тхумронгсилапа Папхави.Люминесценция и поглощение излучения среднего ИК диапазона в наноструктурах с квантовыми ямами в условиях разогрева носителей заряда / Тхумронгсилапа Папхави, 2010. - 18 с. - Текст : непосредственный.Шмидт Н.М. Полупроводниковые самоорганизованные наноматериалы - нелинейные системы с фрактальной размерностью : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / Н. М. Шмидт, 2009. - 34 с. - Текст : непосредственный.Quantum Dot Molecules / Ed. J. Wu, 2014 r=on-line. - Текст : электронный.Герт А.В. Моделирование электронных состояний и оптических процессов в кремниевых наноструктурах / А. В. Герт, 2016. - 20 с. - Текст : непосредственный.Size Effects in Nanostructures. Basics and Applications / Ed. V. Kuncser, 2014 r=on-line. - Текст : электронный.Graphene Quantum Dots / A. D. Güçlü, P. Potasz, M. Korkusinski, P. Hawrylak, 2014 r=on-line. - Текст : электронный.Карпов Д.В. Резонансные явления в активных и нелинейных наноструктурах фотоники / Д. В. Карпов, 2017. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽