• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Кирюшина, И. В. Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / И. В. Кирюшина. - М., 2003. - 21 с. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 20-21(9 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-7411)

    Шифр в сводном ЭК: 6bbc8769c29ea85484997bfb486293cb



    Заказ фрагмента документа ₽