Приложение
для AndroidПолное описание
Исмаилов, Т. А. Технология напыления наноразмерных слоев четырех металлов (Cr - Ni - Sn - Ag) для формирования стоковой области биполярного со статической индукцией транзистора (БСИТ) / Т. А. Исмаилов, А. Р. Шахмаева, П. Р. Захарова. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск, 2011. - С. 815-822. - Библиогр.: 2 назв.
ГРНТИ 47.14.15
Кл.слова (ненормированные): хром -- никель -- олово -- серебро
Аннотация: Представлены оптимальные варианты напыления четырех металлов (хром, никель, олово, серебро) в едином технологическом цикле на установке "LEYBORD AG Z-600" для формирования контакта к области стока при изготовлении структуры кристаллов БСИТ-транзисторов.
Доп. точки доступа:
Шахмаева, А.Р.
Захарова, П.Р.
Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -125240-091696)
Шифр в сводном ЭК: 0c9a541bc98e7eeaa3bfa4ea7f7b877a
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов : тр. 7-й междунар. Рос. - Казах. - Яп. науч. конф., 3-4 июня 2009 г. / Российская Федерация. М-во образования и науки, 2009. - 1207 с. - Текст : непосредственный.Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов : тр. Междунар. молодеж. конф. в рамках Фестиваля науки, г. Астрахань, 2-3 октября 2012 г. / Астраханский гос. ун-т, 2012. - 693 с. - Текст : непосредственный.Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов : тр. VIII Междунар. конф., Алматы, 9-10 июня 2011 г. / Юго-Западный гос. ун-т (Курск), 2011. - 985 с. - Текст : непосредственный.
Architecture and design of molecule logic gates and atom circuits : proc. of the 2nd AtMol Europ. workshop, Barcelona, Jan. 12-13, 2012 / AtMol European workshop (2; 2012; Barcelona), 2013 r=on-line. - Текст : электронный.Применение Dual-beam технологии для создания прототипа матрицы энергонезависимой памяти на фазовых переходах / Ю. В. Ануфриев, Е. В. Зенова, П. К. Кондратьев [и др.]. - Текст : непосредственный // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010 (МЭС - 2010) : сб. тр. IV Всерос. науч.-техн. конф., 4-8 окт. 2010 г., Москва. - М. - 2010. - с. 658-661Исмаилов Т.А. Технология напыления наноразмерных слоев четырех металлов (Cr - Ni - Sn - Ag) для формирования стоковой области биполярного со статической индукцией транзистора (БСИТ) / Т. А. Исмаилов, А. Р. Шахмаева, П. Р. Захарова. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 815-822
Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов : тр. VIII Междунар. конф., Алматы, 9-10 июня 2011 г. / Юго-Западный гос. ун-т (Курск), 2011. - 985 с. - Текст : непосредственный.Новые материалы для высокоэффективных источников тока и энергосберегающих технологий / Д. М. Иткис, Д. А. Семененко, Е. А. Гудилин, Ю. Д. Третьяков. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 25-45Пористые пленки анодного оксида алюминия : новые горизонты практического применения / О. В. Бойцова, Д. И. Петухов, И. В. Росляков [и др.]. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 46-56Охлопкова А.А. Модификация политетрафторэтилена углеродными волокнами и наношпинелями магния / А. А. Охлопкова, Т. С. Стручкова, Е. Е. Куличкина. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 197-202Охлопкова А.А. Самосмазывающиеся полимерные нанокомпозиты / А. А. Охлопкова. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 203-209Лымарь А.А. Моделирование сорбции ионов некоторых металлов на нанокластерах оксигидрата циркония / А. А. Лымарь, В. В. Авдин. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 210-218Васильев Б.В. Формирование нанокластеров в двухслойных пленочных систем Ag/Fe и Cu/Fe в градиентном температурном поле / Б. В. Васильев, В. Г. Мягков. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 294-300Ковалев А.Н. Новое направление полупроводниковой электроники - гетероструктурная наноэлектроника / А. Н. Ковалев. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 484-499Иванов С.А. Низковольтная растровая электронная микроскопия для исследования наноматериалов / С. А. Иванов. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 891-902.Радиационные методы в нанотехнологиях // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 88-109Метод получения нанопорошков карбида вольфрама и устройство для его осуществления / Е. В. Агеев, Д. Н. Романенко, А. И. Фомин, В. И. Шкодкин. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 250-257Кожитов Л.В. Синтез и свойства многофункциональных металлополимерных нанокомпозитов и углеродного нанокристаллического материала / Л. В. Кожитов, А. В. Попкова, В. В. Козлов. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 116-133Получение нанокомпозита Fe/Ni/C в системе FeCl3•6H2O/NiCl2•6H2O/ПАН/ДМФА при использовании ИК-нагрева / Л. В. Кожитов, А. В. Костикова, В. В. Козлов, В. И. Хурса. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 134-145Прокофьева Е.В. Однослойные углеродные нанотрубки и некоторые композиты на их основе : свойства и электронное строение / Е. В. Прокофьева, И. В. Запороцкова. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 146-160Модификация резин алмазосодержащими наноразмерными наполнителями / Н. Н. Петрова, Н. В. Михайлова, К. А. Федоров [и др.]. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 171-179Разработка полимерсиликатных нанокомпозитов на основе политетрафторэтилена / С. А. Слепцова, Е. С. Афанасьева, А. А. Охлопкова, А. Р. Александров. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 186-196Нанесение медной оболочки на поверхность частиц двухструйном плазмотроне килогерцового диапазона частот / А. Л. Колоненко, И. В. Осипова, Н. Г. Внукова [и др.]. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 245-249Селективное закрепление нанопузырьков на реальных гидрофильных и гидрофобных поверхностях частиц минералов при пенной флотации / В. М. Емельянов, В. И. Мелик-Гайказян, Н. П. Емельянова [и др.]. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 275-283Металлоуглеродные нанокомпозиты на основе полиакрилонитрила и металлов группы железа : получение, свойства, стабильность / Д. Г. Муратов, Л. В. Кожитов, В. В. Козлов [и др.]. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 304-318Кузьменко А.П. Наномасштабная рамановская спектроскопия магнитных структур / А. П. Кузьменко, П. В. Абакумов. - Текст : непосредственный // Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматериалов. - Курск. - 2011. - с. 564-572
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽