• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Волосов, В. И. Высокопроизводительный метод имплантации интенсивными атомарными потоками в области промежуточных энергий (0.5 кэВ-10 кэВ) / В.И.Волосов,И.Н.Чуркин. - Новосибирск : [б. и.], 1996. - 15 с. : ил. - (Препринт / Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера (Новосибирск) ; ИЯФ 96-58). - 200 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.793.184(04)

    Рубрики:
    Ионное внедрение

    Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ
    Доп. точки доступа:
    Чуркин, И.Н.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/8183/ИЯФ 96-58)

    Шифр в сводном ЭК: 2874d3e59e6e9cc8146b0968839773de



    Заказ фрагмента документа ₽