Полное описание

Базиненков, Алексей Михайлович. Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды : учебно-методическое пособие / А. М. Базиненков, А. Т. Каменихин ; Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2-е изд., испр. - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 62 с. : ил. - (Учебно-методическое пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана). - Библиогр.: с. 49 (4 назв.). - 54 экз. - ISBN 978-5-7038-5384-9. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
55.39.37	621.521
90.27.30	531.787
	ББК
	33
	7426
	РУБ
	11.03.04
	28.03.02

Рубрики:
Вакуум-насосы
Манометры

Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- ПРАКТИЧЕСКИЕ ЗАНЯТИЯ -- ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ БАЗА
Аннотация: В учебно-методическом пособии представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования — средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н.Э. Баумана. Методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Основы проектирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования».
Доп. точки доступа:
Каменихин, А.Т.
Каменихин, Анатолий Тимофеевич
Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Электронная библиотечная система ZNANIUM

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-20/80121)

Шифр в сводном ЭК: 0813a6924876afcca6e38e9018e94256

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽

Просмотр издания ЭБС ZNANIUM