Приложение
для AndroidПолное описание
Инжекционно-термическая обработка наноразмерных диэлектрических пленок МДП-приборов / А. М. Михальков, В. Г. Дмитриев, В. В. Андреев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М., 2011. - С. 167-170. - Библиогр.: 3 назв.
ГРНТИ 47.13.11
Кл.слова (ненормированные): кремний -- диоксид кремния -- алюминий
Аннотация: Исследование режимов инжекционно-термической обработки МДП-структур (металл - диэлектрик - полупроводник) Si-SiO2-Al, направленных на модификацию их зарядового состояния. Повышение надежности и радиационной стойкости за счет снижения плотности зарядовых дефектов и повышения величины заряда, инжектированного до пробоя.
Доп. точки доступа:
Михальков, А.М.
Дмитриев, В.Г.
Андреев, В.В.
Столяров, А.А.
Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -155242-643675)
Шифр в сводном ЭК: f908810bda984e446dd1dc42320ddbde
Андреев В.В. К вопросу об интеграции ГПВРД с летательным аппаратом / В. В. Андреев, В. И. Пензин, 1992. - 27 с. - Текст : непосредственный.Дмитриев В.Г. Системы случайных величин / В. Г. Дмитриев, Ю. Г. Ермаченко, 1994. - 64 c. - Текст : непосредственный.Андреев В.В. Моделирование нестационарных процессов в гетерогенном катализе / В. В. Андреев, 2001. - 135 с. - Текст : непосредственный.Основы линейного программирования / В. Г. Дмитриев, Е. И. Дорошева, Г. В. Савинов, О. А. Сорокина, 2006. - 95 с. - Текст : непосредственный.Современные проблемы нанотехнологии : учебное пособие / А. А. Попович, И. Н. Мутылина, Т. А. Попович, В. В. Андреев, 2008. - 404 с. - Текст : непосредственный.Методы исследования и испытания металлических материалов : учеб. пособие / А. А. Попович [и др.]. Ч. 1, 2008. - 163 с. - Текст : непосредственный.Попович А.А. Стеклокристаллические материалы и покрытия / А. А. Попович, В. В. Андреев, 2007. - 184 с. - Текст : непосредственный.Современная теория ленточных конвейеров горных предприятий / В. И. Галкин, В. Г. Дмитриев, В. П. Дьяченко [и др.], 2005. - 543 с. - Текст : непосредственный.Багров Н.М. Основы отраслевых технологий / Н. М. Багров, Г. А. Трофимов, В. В. Андреев, 2004. - 219 с. - Текст : непосредственный.Книжная индустрия. - Журнал, 2008г. № 4. - Текст : непосредственный.Ленский Б. В. Ситуация на книжном рынке России: 2011-2012 гг. / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Книга. Исследования и материалы : сборник / Российская академия наук, Научный совет "История мировой культуры". - M. : Наука, 2012. - № 98-99. - с. 60-75Андреев В.В. Оптика третьего порядка реальной соленоидальной магнитной линзы / В. В. Андреев, И. П. Юдин, 1992. - 19 с. - Текст : непосредственный.Товароведение промышленного оборудования : Учеб. пособие / Подгот. В.В. Андреев, Н.К. Бедоглазов, Л.А. Косачев. Ч. 2 : Электрическое оборудование и приборы / сост. В. В. Андреев, 1993. - 110 с. - Текст : непосредственный.Ленский Б. В. Книжный рынок Росии в 2012 году / Б. В. Ленский, А. Н. Воропаев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Книга. Исследования и материалы : сборник / Рос. кн. палата, НИИ книги. - M. : Наука, 2013. - № 99/1-2. - с. 5-26Багров Н.М. Основы отраслевых технологий / Н. М. Багров, Г. А. Трофимов, В. В. Андреев, 2006. - 251 с. - Текст : непосредственный.Информационные технологии. - Журнал, 1997г. № 10. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Михальков А.М. Инжекционно-термическая обработка наноразмерных диэлектрических пленок МДП-приборов / А. М. Михальков. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2010. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. - с. 211-216Инжекционно-термическая обработка наноразмерных диэлектрических пленок МДП-приборов / А. М. Михальков, В. Г. Дмитриев, В. В. Андреев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 167-170
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыМихальков А.М. Инжекционно-термическая обработка наноразмерных диэлектрических пленок МДП-приборов / А. М. Михальков. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2010. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. - с. 211-216Труды 2-й Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых "Функциональные наноматериалы для космической техники" : 17-19 мая 2011 г. / "Функциональные наноматериалы для космической техники", всероссийская школа-семинар студентов, аспирантов и молодых ученых (2 ; 2011 ; Москва) , 2011. - 309 с. - Текст : непосредственный.Инжекционно-термическая обработка наноразмерных диэлектрических пленок МДП-приборов / А. М. Михальков, В. Г. Дмитриев, В. В. Андреев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 167-170
Труды 2-й Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых "Функциональные наноматериалы для космической техники" : 17-19 мая 2011 г. / "Функциональные наноматериалы для космической техники", всероссийская школа-семинар студентов, аспирантов и молодых ученых (2 ; 2011 ; Москва) , 2011. - 309 с. - Текст : непосредственный.Удовский А.Л. Моделирование наноструктурированных материалов устойчивых под облучением / А. Л. Удовский. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 7-30Смирнов И.С. Технология формирования и диагностика параметров растущих наноразмерных пленок / И. С. Смирнов, Е. Г. Новоселова. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 31-38Модификация полимеров внедрением микро- и наночастиц / В. А. Демидов, А. А. Ерискин, М. С. Самохина [и др.]. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 104-108Слободян М.С. Модель динамического контакта наноструктур / М. С. Слободян, В. С. Деева. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 112-115Захаров А.О. Спектральная пирометрия наночастиц / А. О. Захаров, Б. А. Лапшинов, А. Н. Магунов. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 128-132Юнга А.Н. Дозы облучения микро- и нанослоев при образовании свежих поверхностей / А. Н. Юнга, В. А. Никеров. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 145-149Рудштейн Р.И. Теплоизоляторы нового поколения на основе наноматериалов в ракетно-космической технике / Р. И. Рудштейн, А. А. Бармин, Р. Н. Ризаханов. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 150-154.Механические и электрофизические свойства самовосстанавливающихся покрытий на основе полимерных микро- и нанокомпозитов для космических аппаратов / И. А. Клепиков, А. Муздубаева, И. В. Разумовская [и др.]. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 155-158.Структура и механические свойства поверхностного нанокомпозитного слоя химически металлизованной полиимидной пленки с высокой отражательной способностью для нужд аэрокосмической и авиационной техники. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 159-162.Исследование воздействия ионизирующих излучений на МДП-структуры с наноразмерными диэлектрическими пленками / Д. В. Андреев, М. С. Васютин, Г. Г. Бондаренко, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 163-166Инжекционно-термическая обработка наноразмерных диэлектрических пленок МДП-приборов / А. М. Михальков, В. Г. Дмитриев, В. В. Андреев, А. А. Столяров. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 167-170Бедин С.А. Получение металлических микро- и нанореплик методом матричного синтеза / С. А. Бедин, И. В. Разумовская, Д. Л. Загорский. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 174-179Ершов П.А. Метод получения полимерных матриц с регулируемой формой наноразмерных пор для матричного синтеза / П. А. Ершов, А. Х. Фатиянц, С. А. Бедин. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 180-185Майский А.И. Исследование металлических микро- и нанопроволок методами электронной и зондовой микроскопии / А. И. Майский, А. А. Мильграм, С. А. Бедин. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 186-188Синельников А.О. Нанодеформации периметров кольцевых резонаторов и их связь с выходными характеристиками лазерных приборов / А. О. Синельников, Н. В. Тихменев. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы для космической техники : тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-19 мая 2011 г., Москва. - М. - 2011. - с. 294-299
Заказ фрагмента документа ₽