Приложение
для AndroidПолное описание
Алфимова, Д. Л. Технология магнетронного напыления тонкопленочных покрытий / Д. Л. Алфимова, А. В. Благин, И. А. Сысоев. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д, 2011. - С. 51-55. - Библиогр.: 7 назв.
ГРНТИ 47.13.11
Кл.слова (ненормированные): алюминий -- индий
Аннотация: Рассмотрены основные аспекты техники получения тонкопленочных (Al + In) покрытий методом магнетронного напыления (распыления) и особенности морфологии поверхности, выявленные в экспериментальных исследованиях.
Доп. точки доступа:
Благин, А.В.
Сысоев, И.А.
Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -512171-494323)
Шифр в сводном ЭК: b561f4521b19249ba675683088b92623
Сысоев И.А. Эпитаксия твердых растворов AIIIBV с микро- и наноструктурой в поле температурного градиента : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / И. А. Сысоев, 2010. - 30 с. - Текст : непосредственный.Физика кристализации и дефектов твердотельных структур на микро- и наноуровнях / А. В. Благин, В. В. Калинчук, В. И. Лебедев, Л. С. Лунин, 2009. - 287 с. - Текст : непосредственный.Чеботарев С.Н. Наноструктуры АIVВIV и АIIIВV для устройств оптоэлектроники / С. Н. Чеботарев, М. Л. Лунина, Д. Л. Алфимова, 2014. - 274 с. - Текст : непосредственный.Сысоев И.А. Исследование энергетического состояния и разработка способа управления тепловым режимом электролизеров большой единичной мощности : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.16.02 / И. А. Сысоев, 2007. - 16 с. - Текст : непосредственный.Сысоев И.А. Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIII BV через тонкую газовую зону : монография / И. А. Сысоев, Л. С. Лунин, 2015. - 96 с. - Текст : непосредственный.Благин А.В. Физика. Специальные главы : учеб. пособие / А. В. Благин, И. С. Шошиашвили, 2014. - 181 с. - Текст : непосредственный.Сысоев И.А. Метод зонной перекристаллизации градиентом температуры в технологии оптоэлектронных приборов на основе многокомпонентных полупроводниковых соединений А В : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / И. А. Сысоев, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Алфимова Д.Л. Многокомпонентные висмутсодержащие твердые растворы А В, полученные в поле температурного градиента : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / Д. Л. Алфимова, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Осипенко И.А. Основы проектирования многоэмиттерного биполярного транзистора : учебное пособие / И. А. Осипенко, И. Г. Попова, А. В. Благин, 2019. - 53 с. - Текст : непосредственный.Благин А.В. Основы современной астрономии : учебное пособие / А. В. Благин, О. В. Котова, 2019. - 258 с. - Текст : непосредственный.Извлечение наночастиц углерода из фторированного глинозема при производстве алюминия / В. А. Ершов [и др.]. - Текст : непосредственный // Металлург. - М. - 2012. - № 12. - с. 74-78Благин А.В. Кристаллизация многокомпонентных полупроводников в градиентном температурном поле и их свойства : автореф. дис. .. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 / А. В. Благин, 2003. - 38 с. - Текст : непосредственный.Особенности ионно-лучевого осаждения наноразмерных многокомпонентных островковых пленок / А. В. Благин, Л. С. Лунин, И. А. Сысоев, Д. А. Гусев. - Текст : непосредственный // Микроэлектронные информационно-управляющие системы и комплексы. - Новочеркасск. - 2011. - с. 113-115Лунин Л.С. Инновационные технологии создания высокоэффективных фотоэлементов на основе наногетероструктур с квантовыми точками для солнечных батарей нового поколения / Л. С. Лунин, И. А. Сысоев, Д. Л. Алфимова. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д. - 2011. - с. 20-27Алфимова Д.Л. Технология магнетронного напыления тонкопленочных покрытий / Д. Л. Алфимова, А. В. Благин, И. А. Сысоев. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д. - 2011. - с. 51-55Новые технологические решения по переработке отходов кремниевого и алюминиевого производств / В. В. Кондратьев [и др.]. - Текст : непосредственный // Металлург. - М. - 2013. - № 5. - с. 92-95Благин А.В. Зонная перекристаллизация градиентом температуры в многокомпонентных системах на основе антимонида индия : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. В. Благин, 1996. - 15 с. - Текст : непосредственный.
Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона : сб. науч. ст. / Российская АН. Южный науч. центр, 2011. - 242 с. - Текст : непосредственный.Алфимова Д.Л. Технология магнетронного напыления тонкопленочных покрытий / Д. Л. Алфимова, А. В. Благин, И. А. Сысоев. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д. - 2011. - с. 51-55
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыНаукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона : сб. науч. ст. / Российская АН. Южный науч. центр, 2011. - 242 с. - Текст : непосредственный.Алфимова Д.Л. Технология магнетронного напыления тонкопленочных покрытий / Д. Л. Алфимова, А. В. Благин, И. А. Сысоев. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д. - 2011. - с. 51-55
Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона : сб. науч. ст. / Российская АН. Южный науч. центр, 2011. - 242 с. - Текст : непосредственный.Лунин Л.С. Инновационные технологии создания высокоэффективных фотоэлементов на основе наногетероструктур с квантовыми точками для солнечных батарей нового поколения / Л. С. Лунин, И. А. Сысоев, Д. Л. Алфимова. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д. - 2011. - с. 20-27Технология создания электронно-управляемых СВЧ-устройств на основе наноразмерных сегнетоэлектрических гетероструктур / Вл. М. Мухортов, Ю. И. Головко, С. В. Бирюков, В. М. Мухортов. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д. - 2011. - с. 28-50Алфимова Д.Л. Технология магнетронного напыления тонкопленочных покрытий / Д. Л. Алфимова, А. В. Благин, И. А. Сысоев. - Текст : непосредственный // Наукоемкие технологии для инновационной индустрии южного макрорегиона. - Ростов н/Д. - 2011. - с. 51-55
Заказ фрагмента документа ₽