Полное описание
Forschungszentrum(Karlsruhe). 7378 : Megaschallunterstutzter Stofftransport in LIGA-Mikrostrukturen : Diss. / M. Lisinkova [et al.]. - Karlsruhe, 2008. - IV, 111 p. : ill. - Библиогр.: с. 101-109
ГРНТИ УДК 47.13.11 621-181.4(043)
Рубрики: Микросистемотехника
Доп. точки доступа: Lisinkova, M.
Hahn, L.
Schulz, J.
Bade, K.
Forschungszentrum(Karlsruhe)
Экз-ры полностью 143c80297aa32ccf1eb9ca616d3c72d6 Копия: Нет сведений об экземплярах Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/7378)
Шифр в сводном ЭК: 143c80297aa32ccf1eb9ca616d3c72d6
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen / K.Layendecker,W.Bacher,K.Bade,W.Stark, 1995. - 87 S. - Текст : непосредственный. Strohrmann M. Intelligentes Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik / M.Strohrmann,J.Mohr,J.Schulz, 1995. - 118 S. - Текст : непосредственный. Karthaus J. Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwassrigen Elektrolyten fur die Mikrosystemtechnik : Diss. / J.Karthaus,K.Bade,W.Bacher, 2000. - VIII,121 S. S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7492 : Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials : diss. / M. Haj-Taieb, J. Aktaa, K. Bade, 2009. - VIII, 128 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7308 : Goldgalvanik in der Mikrosystemtechnik. Herausforderungen durch neue Anwendungen : Diss. / N. Dambrowsky, J. Schulz, 2007. - IV, 112 S. - Текст : непосредственный. Chung S.-J. Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithographie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists / S.-J.Chung,H.Hein,J.Schulz, 1998. - 94 S. - Текст : непосредственный. Rogge B. Entwicklung,Optimierung und Test von elektromagnetischen Linearaktoren basierend auf LIGA-Mikrotechnik : Diss. / B.Rogge,J.Schulz,J.Mohr, 1996. - 79 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7378 : Megaschallunterstutzter Stofftransport in LIGA-Mikrostrukturen : Diss. / M. Lisinkova [et al.], 2008. - IV, 111 p. - Текст : непосредственный. Moran Campana O. Leitfahigkeitsmechanismen in dunnen SrTiO3-Barrieren und ihr Einfluss auf die Funktion supraleitender Quasiteilchen-Injektionsbauelemente : Diss. / O.Moran Campana, 2002. - 116 S. - Текст : непосредственный. Sepold L. Experimental and calculational results of the QUENCH-05 test / L.Sepold,C.Homann,W.Leilinget.al, 2002. - 143 p. - Текст : непосредственный. Walter M. Mechanische und fraktographische Charakterisierung des niedrigaktivierbaren Chromstahls F82H-mod im sprod-duktilen Ubergangsbereich : Diss. / M.Walter, 2002. - 108 S. - Текст : непосредственный. Richers U. Present status and perspectives of co-combustion in German power plants / U.Richers,W.Scheurer,H.Seifertet.al, 2002. - 16 p. - Текст : непосредственный. Thumm M. ITER ECRF window development - CVD-Diamond window : Final rep.: ITER task N.:G 55 TT 19EU(TWO-TWO-ECRF/WIN) / M.Thumm,A.Heidinger,A.Arnoldet.al, 2002. - 24 p. - Текст : непосредственный. Schirra M. Das Umwandlungsverhalten der ferritisch-martensitischen Stale mit 8-14% Cr / M.Schirra,H.Finkler, 2002. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7378 : Megaschallunterstutzter Stofftransport in LIGA-Mikrostrukturen : Diss. / M. Lisinkova [et al.], 2008. - IV, 111 p. - Текст : непосредственный. Sanchez-Espinoza V.H. Validation of the reflood model of the RELAP5/MOD3.2.2 gamma usingexperimental data from the integral facility LOFT LP-LB-1 / V. H. Sanchez-Espinoza, 2001. - 39 p. - Текст : непосредственный. Engelko A. Optimierungsregeln fur Halbleiteroffnungsschalter in Hochspannungspulsgeneratoren sehr hoher Leistung : сборник научных трудов / A. Engelko, 2002. - 109 S. - Текст : непосредственный. Hofmann H. XCharge - ein Programm zur Berechnung der Schichtladungsverteilung niedrig gelandener Phyllosilikate mit Hilfe der Alkylammonium-Methode : сборник научных трудов / H. Hofmann, A. Bauer, L. N. Warr, 2002. - IV, 26 S. 26 S. - Текст : непосредственный. Fessler F. Abschatzung des diffusen y-Flusses im PeV-Bereich basierend auf Messungen des KASCADE Luftschauerexperiments : сборник научных трудов / F. Fessler, 2002. - 96 S. - Текст : непосредственный. Trapp J. Untersuchungen zur Resistenzentwicklung von Tumorzellinien gegenuber Apoptose-Induktoren : сборник научных трудов / J. Trapp, 2002. - 97-109 S. S. - Текст : непосредственный. International fusion material irradiation facility (IFMIF): simulation and neutronics analyses of the high flux test module / S. P. Simakov, U. Fischer, V. Heinzel, U.von Mollendorff, 2002. - 59 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7315 : Ressourcen-und Abfallmanagement von Cadmium in Deutschland / K. -R. Brautigam [et al.], 2008. - 114 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7457 : Measurement of the energy spectrum of ultra-high energy cosmic rays using hybrid data of the Pierre Auger Observatory : Diss. / F. Schussler, 2009. - III, 136 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7452 : Molecular geochemistry in hydrogeology: a pathway to reactive transport process understanding in natural systems / T. Schafer, 2009. - 284 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7432 : Stability analysis of the high performance light water reactor : diss. / T. Ortega Gomes, 2009. - 120 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7471 : Diesel-Dampfreformierung in Mikrostrukturreaktoren : Diss. / J. Thormann, 2009. - II, 160 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7392 : State-of-the-art of high power gyro-devices and free electron masers update 2007 / M. Thumm, 2008. - 111 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7385 : Trendbestimmung stratospharischer Spurengase mit Hilfe bodengebundener FTIR-Messungen : Diss. / S. Mikuteit, 2008. - IV, 150 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7204 : Interaction and phase relaxation in disordered nanowires and quantum hall systems : Diss. / T.Ludwig, 2006. - II, 131 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7206 : Bestimmung der Tagesgange kurzlebiger chemischer Substanzen aus MIPAS-B Spektren und Vergleich mit Simulationen eines Box-Modells : Diss. / A.Wiegele, 2006. - V, 112 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6566 : Improvement of the SCDAP/RELAP5 code with respect to FZK experimental facilities / W. Hering, Ch. Homann, 2007. - VI, 87 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7330 : Jahresbericht 2006 der Hauptabteilung Sicherheit / ed.: M. Urban, A. Bickel, 2007. - IX, 183 S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7170 : Kraftstoff, Strom und Warme aus Stroh und Waldrestholz : eine systemanalytische Untersuchung / L. Leible [et al.], 2007. - VIII, 117 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7418 : Experimentezum Versagen des Dichtkastens fur die Materialschleusenverschraubung im Containment des KKW Philippsburg II / G. Messemer, 2008. - 15 S. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Михайлов П.Г. Микромеханические приборы, устройства и технологии / П. Г. Михайлов, 2007. - 172 с. - Текст : непосредственный. Интегрируемые с наносенсорами интерфейсы изделий микросистемной техники : выставочные материалы / О. В. Дворников, Н. Н. Прокопенко, Е. И. Старченко, С. Г. Крутчинский, 2013. - 64 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Рудяк В.Я. Современные проблемы микро- и нанофлюидики / В. Я. Рудяк, А. В. Минаков, 2016. - 296 с. - Текст : непосредственный. Micro and nano mechanical testing of materials and devices / Ed. F. Yang, 2008. - XIII, 387 p. - Текст : непосредственный. Нанотехнологическая база микросистемной техники / В. М. Башков [и др.]; под ред. О. С. Нарайкина, В. Д. Шашурина, 2007. - 51 с. - Текст : непосредственный. Dziuban J.A. Bonding in microsystem technology / J. A. Dziuban, 2006 r=on-line. - Текст : электронный. Техническая механика микросхем : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев [и др.], 2009. - 176 с. - Текст : непосредственный. Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль : сб. науч. тр. / Московский гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т), 2007. - 207 с. - Текст : непосредственный. Белов Л.А. Микросистемотехника в автоматизированных радиоэлектронных средствах : учеб. пособие по курсу "Автоматизир. системы контроля и упр. радиоэлектрон. средствами" для студентов, обучающихся по направлению "Радиотехника" / Л. А. Белов, 2016. - 71 с. - Текст : непосредственный. Tesar V. Pressure-driven microfluidics / V. Tesar, 2007. - XII, 410 p. - Текст : непосредственный. Смирнов В.И. Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техника : учебное пособие для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.03 - "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 - "Электроника наноэлектроника" / В. И. Смирнов, 2017. - 279 с. - Текст : непосредственный. Тимофеев В.Н. Инженерные расчеты элементов и узлов микросистемной техники : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев, А. И. Погалов, С. В. Угольников, 2009. - 192 с. - Текст : непосредственный. Левицкий, Алексей Александрович. Проектирование микросистем. Программные средства обеспечения САПР : учеб. пособие / А. А. Левицкий, П. С. Маринушкин, 2010. - 155 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный. Техническая механика микросхем : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев [и др.], 2011. - 176 с. - Текст : непосредственный. Основы микросистемотехники : учеб. пособие / В. А. Шубарев [и др.], 2008. - 195 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Евстафьев С.С. Разработка и исследование физико-технологических моделей многослойных тепловых микроактюаторов / С. С. Евстафьев, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный. Быркин В.А. Корреляционные эффекты в системе несмачивающая жидкость - нанопористая среда / В. А. Быркин, 2013. - 28 с. - Текст : непосредственный. Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren / K. Kadel, G. Stern, R. Brossardt, W. Schomburg, 1993. - 94 S. - Текст : непосредственный. Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. П. Михайлов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный. Buchberger P. MIDAS.Ein wissensbasiertes System zur Unterstutzung des fertigungsgerechten Entwurfs von LIGA-Mikrostrukturen / P. Buchberger, H. Eggert, K. P. Scherer, 1997. - VI,119 S. S. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Burg B. Parametrisches optisches Messen bei der Herstellung von Mikrostrukturen mit bebiebiger, ebener Oberflachengeometrie : Diss / B.Burg, 1991. - 117 S. - Текст : непосредственный. Жуков А.А. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.01, 05.27.06 / А. А. Жуков, 2003. - 52 с. - Текст : непосредственный. Лысенко И.Е. Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / И. Е. Лысенко, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный. Гринькин Е.А. Формирование и свойства регулярных поверхностных и пористых полиимидных микроструктур для элементов микросистемной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.16.09 / Е. А. Гринькин, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный. Rogge T. Entwicklung eines piezogetriebenen Mikroventils - von der Idee bis zur Vorserienfertigung : Diss. / T.Rogge,Z.Rummler,W.K.Schomburg, 2001. - II,123 S. S. - Текст : непосредственный. Kaiser S.C. Entwicklung eines magnetisch-induktiven Mikroventils nach dem AMANDA - Verfahren : Diss. / S.C.Kaiser, 2000. - ii,75 S. S. - Текст : непосредственный. Achenbach S. Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) : Diss. / S.Achenbach,F.J.Pantenburg,J.Mohr, 2000. - VI,138 S. S. - Текст : непосредственный. Плотников А.А. Обеспечение качества поверхностного слоя миниатюрных деталей и повышение производительности алмазного микровыглаживания на основе динамической стабилизации процесса : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.02.08 / А. А. Плотников, 2005. - 18 с. - Текст : непосредственный. Кравченко И.В. Разработка и исследование методов и средств проектирования микросистем с интегральными термоэлементами : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / И. В. Кравченко, 2005. - 23 с. - Текст : непосредственный. Иванов А.С. Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.11 / А. С. Иванов, 1995. - 20 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
