• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Князев, М. А. Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / М. А. Князев. - Черноголовка, 2007. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 18 (11 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.3.049.76-047.84:776(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар08-1620)

    Шифр в сводном ЭК: 7dc6b111063f293804342816814a5cab



    Заказ фрагмента документа ₽