Приложение
для AndroidПолное описание
Структурная диагностика и вещественный анализ современных наносистем с применением аналитического оборудования на основе прецизионной электронно-ионной сканирующей микроскопии / А. М. Тагаченков, Е. В. Зенова, Ю. В. Ануфриев, В. Ю. Дубровинский. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М., 2012. - С. 142-150. - Библиогр.: 2 назв.
ГРНТИ 47.13.33
Аннотация: Рассмотрены возможности исследовательского электронно-ионного сканирующего оборудования и методики анализа современных интегральных устройств, выполненных по субмикронной технологии, в том числе и перспективных.
Доп. точки доступа:
Тагаченков, А.М.
Зенова, Е.В.
Ануфриев, Ю.В.
Дубровинский, В.Ю.
Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -660023-538340)
Шифр в сводном ЭК: c851c2086fb3bb004a4a0ce03917dc4e
Тагаченков А.М. Исследование электрофизических и морфологических свойств и поверхностных явление в гетерогенных твердотельных наноразмерных системах / А. М. Тагаченков, 2010. - 24 с. - Текст : непосредственный.
Ануфриев Ю.В. Исследование стадии включения элементов энергозависимой памяти на фазовых переходах : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / Ю. В. Ануфриев, 2009. - 20 с. - Текст : непосредственный.Зенова Е.В. Разработка и исследование методов диагностики изоляционной системы маслонаполненных трансформаторов на основе изучения спектров токов поляризации : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.09.02 / Е. В. Зенова, 2013. - 40 с. - Текст : непосредственный.Воронков Э.Н. Электропроводность полупроводников : Учеб. пособие по курсу "Твердотел. электроника" для студентов по направлению "Электроника и микроэлектроника" / Э.Н. Воронков, Е.В. Зенова, О.Б. Сарач, 2005. - 67 с. - Текст : непосредственный.Зенова Е.В. Основы теории и расчета надежности изделий электронной техники : Учеб. пеособие / Е. В. Зенова, 2005. - 67 с. - Текст : непосредственный.Зенова Е.В. Основы разработки, конструирования и расчета альфа-ионизационного преобразователя давления, работающего в области пониженных давлений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.02 / Е. В. Зенова, 1996. - 20 с. - Текст : непосредственный.Применение Dual-beam технологии для создания прототипа матрицы энергонезависимой памяти на фазовых переходах / Ю. В. Ануфриев, Е. В. Зенова, П. К. Кондратьев [и др.]. - Текст : непосредственный // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010 (МЭС - 2010) : сб. тр. IV Всерос. науч.-техн. конф., 4-8 окт. 2010 г., Москва. - М. - 2010. - с. 658-661Структурная диагностика и вещественный анализ современных наносистем с применением аналитического оборудования на основе прецизионной электронно-ионной сканирующей микроскопии / А. М. Тагаченков, Е. В. Зенова, Ю. В. Ануфриев, В. Ю. Дубровинский. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 142-150
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный.Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный.Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный.Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный.Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный.Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный.Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный.Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный.Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный.Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный.Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный.Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный.Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыНанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII-й науч.-практ. конф., Россия, Моск. обл., г. Фрязино, 4-6 апреля 2012 г. / Торгово-пром. палата Российской Федерации (Москва), 2012. - 327 с. - Текст : непосредственный.Комплексная переработка красных шламов глиноземного производства / С. П. Яценко [и др.]. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012. - М. - 2012. - с. 93-96Разработка методологии комплексной оценки безопасности наноматериалов для здоровья человека и окружающей среды / В. П. Холоденко [и др.]. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012. - М. - 2012. - с. 240-243Наномодифицированные бетоны на основе цементных и бесцементных вяжущих с использованием золошлаковых отходов теплоэлектростанций / В. Г. Пузач [и др.]. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012. - М. - 2012. - с. 309-314Кельина С.Ю. О возможности применения нано-TiO2 при определении ХПК в экологическом анализе вод / С. Ю. Кельина, Д. О. Цымбал, Ю. М. Дедков. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012. - М. - 2012. - с. 315-319.Колотушкин В.П. Роль ближнего упорядочения в радиационной устойчивости сплавов / В. П. Колотушкин, А. А. Парфенов. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 120-131Бржезинский Г.В. О проблемах развития наноиндустрии в России на примере деятельности Нижегородского регионального центра наноиндустрии / Г. В. Бржезинский. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 7-16Ананьева Е.С. Углепластики модифицированные наночастицами детонационных наноалмазов : технология и эффективность / Е. С. Ананьева, Е. А. Новиковский, В. Б. Маркин. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 17-20.Разработка и внедрение нанотехнологий в узлах трения аэрокосмической техники / Д. Г. Громаковский, Е. П. Кочеров, А. Г. Ковшов, М. В. Макарьянц. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 33-43Математическое моделирование автоматизированной системы технологической подготовки производства при адаптивном управлении взаимозависимыми параметрами надежности контактных элементов из наноструктурированных сверхпроводящих материалов / В. М. Емельянов, Л. А. Пимнева, В. В. Емельянов [и др.]. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 47-54Технология нанесения наноразмерных пленок на материалы с различными модулями упругости / О. И. Еремкин, Е. Ю. Гамлицкий, А. В. Гелиев, В. Н. Семенов. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 55-59Кушнаренко И.В. Технические возможности экспериментальной и производственной базы ФКП "НИЦ РКП" для создания нанотехнологии синтеза ультра- и нанодисперсных золей гидридов алюминия полимерного и кластерного строения в керосине и несимметричном N,N-диметилгидразине, рассматриваемых в качестве высокоэнергетических горючих жидкого ракетного топлива / И. В. Кушнаренко. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 60-64Интенсификация теплообмена за счет изменения шероховатости поверхностей наномодифицированными электрохимическими покрытиями / Ю. В. Литовка, Е. Н. Туголуков, А. Г. Ткачёв [и др.]. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 69-73Неравновесный плазмохимический синтез ультрадисперсных порошков оксидов титана и кремния / Г. Е. Ремнёв, Р. В. Сазонов, Г. Е. Холодная, Д. В. Пономарёв. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 81-85Инжекционная технология легирования алюминиевых сплавов скандием, цирконием и гафнием / В. М. Скачков, С. П. Яценко, Б. В. Овсянников, П. А. Варченя. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 89-92Комплексная переработка красных шламов глиноземного производства / С. П. Яценко, И. Н. Пягай, Л. А. Пасечник [и др.]. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 93-96Оценка влияния наночастиц на жизнеспособность стволовых клеток / Л. Б. Буравкова, Е. Р. Андреева, В. И. Беклемышев [и др.]. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 116-119.Кушхов Х.Б. Высокотемпературный электрохимический синтез нанопорошков двойных карбидов молибдена и вольфрама и твердосплавных композиций на его основе / Х. Б. Кушхов, В. А. Квашин, А. Л. Карданов. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 132-138Структурная диагностика и вещественный анализ современных наносистем с применением аналитического оборудования на основе прецизионной электронно-ионной сканирующей микроскопии / А. М. Тагаченков, Е. В. Зенова, Ю. В. Ануфриев, В. Ю. Дубровинский. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 142-150Хныкин А.В. Моделирование структуры и гранулометрического состава ультрадисперсного наполнителя с целью повышения рентгенозащитных свойств материала / А. В. Хныкин, Р. Е. Невский. - Текст : непосредственный // Нанотехнологии - производству 2012 : тр. VIII науч.-практ. конф., 4-6 апр. 2012 г., Фрязино. - М. - 2012. - с. 157-160
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽