• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Дидык, А. Создание и изучение радиационной стабильности наноструктурированных слоев (AlN/TiN)x5/Si при облучении тяжелыми ионами низких и высоких энергий / А. Дидык, М. Милосавльевич. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - С. 375-378. - Библиогр.: 9 назв.
    ГРНТИ 29.19.21 + 29.17.35

    Кл.слова (ненормированные): нитрид титана -- нитрид алюминия -- кремний
    Аннотация: Получение многослойных структур с предельно тонкими нанослоями (в десятки нм) на основе нитридов металлов (AlN/TiN)x5/Si с устойчивыми свойствами. Изучение процессов взаимной адгезии (их взаимного перешивания) при облучении тяжелыми ионами высоких и малых энергий в широком диапазоне доз повреждений. Описание наблюдаемых теплофизических процессов при облучении ионами этих структур на основе применения модели термического пика для оценки возможных процессов плавления и рекристаллизации, а также фазовых переходов в многослойных структурах (AlN/TiN)x5/Si при облучении тяжелыми ионами низких энергий.
    Доп. точки доступа:
    Милосавльевич, М.

    Экз-ры полностью 6523ce1544b09036004381a0a57d486f
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -252556-420835)

    Шифр в сводном ЭК: c2c025dd203ffe9b460babdfc84fe2c3




    Заказ фрагмента документа ₽