Приложение
для AndroidПолное описание
Булыгина, Е. В. Формирование тонкопленочных структур с использованием матриц синтетического опала для изготовления газочувствительных элементов / Е. В. Булыгина, К. Н. Беседина, А. С. Власова. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - С. 204-206. - Библиогр.: 2 назв.
ГРНТИ 59.35.29 + 29.19.16
Кл.слова (ненормированные): диоксид олова
Аннотация: Результаты экспериментальных исследований газочувствительности тонких пленок диоксида олова различной толщины, осажденных на поверхность массивного образца синтетического опала. Технология формирования тонкопленочной структуры, предназначенной для использования в качестве газочувствительного элемента.
Доп. точки доступа:
Беседина, К.Н.
Власова, А.С.
Нет сведений об экземплярах
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -101358-920276)
Шифр в сводном ЭК: d6143f737ff2313c0ba336bed41c997c
Беседина К.Н. Разработка методов управляемого формирования и исследование тонкопленочных опаловых наноструктур / К. Н. Беседина, 2014. - 16 с. - Текст : непосредственный.Булыгина Е.В. Повышение выхода годных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакууме : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / Е. В. Булыгина, 1997. - 16 с. - Текст : непосредственный.Булыгина Е.В. Перспективы применения упорядоченных наносистем на основе опаловых матриц / Е. В. Булыгина, Ю. В. Панфилов. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2010. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. - с. 155-168Булыгина Е.В. Формирование тонкопленочных структур с использованием матриц синтетического опала для изготовления газочувствительных элементов / Е. В. Булыгина, К. Н. Беседина, А. С. Власова. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 204-206Исследование процесса нанесения тонких пленок на наноструктурированную поверхность / К. Н. Беседина, А. В. Вострикова, О. О. Двухшерстова, Е. В. Панфилова. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XX юбил. науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, сент. 2013 г. - М. : МИЭМ, 2013. - с. 158-161
Тимошенко О.Т. Новая многокомпонентная полупроводниковая система InP-CdS. Ее поверхностные физико-химические свойства / О. Т. Тимошенко, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Колобова А.В. Исследование и разработка методов метрологического контроля промышленно выпускаемых стандартных образцов состава газовых смесей : специальность 05.11.15 "Метрология и метрологическое обеспечение" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. В. Колобова, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный.Зубков И.Л. Оптический химический сенсор для контроля концентрации аммиака в воздухе : специальность 05.11.13 "Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / И. Л. Зубков, 2007. - 19 с. - Текст : непосредственный.Методы и приборы газового анализа : сборник научных трудов / ВНИИ аналитического приборостроения (Киев), 1990. - 163 с. - Текст : непосредственный.Дученко М.О. Влияние водородосодержащих газов на электрические характеристики МДП-структур и МДП-диодов : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / М. О. Дученко, 1998. - 20 с. - Текст : непосредственный.IBM Journal Research <& >Development / IBM. - Журнал выходит с 1957г. - Текст : непосредственный. Gnorich A. Elektrische Leitfahigkeit von CeO2 fur resistive Sauerstoffgassensoren / A. Gnorich, 1991. - III,116 S. S. - Текст : непосредственный.Володько А.В. Разработка математического обеспечения автоматизированной измерительной системы лазерного оптико-акустического газового анализатора : специальность 05.13.11 "Математическое и программное обеспечение вычислительных машин,комплексов и компьютерных сетей" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. В. Володько, 2004. - 17 с. - Текст : непосредственный.Земцов А.Е. Создание новой полупроводниковой системы GaAs-CdS и изучение ее поверхностных физико-химических свойств : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : диссертация на соискание ученой степени канд. хим. наук / А. Е. Земцов, 2004. - 19 с. - Текст : непосредственный.Абрашова Е.В. Золь-гель синтез и анализ нанопористых фрактальных композиций на основе системы ZnO-SnO2-SiO2 для газочувствительных элементов / Е. В. Абрашова, 2016. - 15 с. - Текст : непосредственный.Neuffer A. Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle / A. Neuffer, 1999. - 113 S. - Текст : непосредственный.Сарач О.Б. Создание газовых сенсоров на основе тонких пленок диоксида олова : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / О. Б. Сарач, 2003. - 20 с. - Текст : непосредственный.Дикевич А.А. Разработка и исследование волоконно-оптических датчиков влажности газов : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. А. Дикевич, 2009. - 24 с. - Текст : непосредственный.Дорожкин Л.М. Акустоволновые и термоволновые газоаналитические сенсоры: материалы и устройства : специальность 01.04.06 "Акустика" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / Л. М. Дорожкин, 2000. - 46 с. - Текст : непосредственный.Physics of thin films. Advances in research and development / Ed.:G.Hass. Vol. 15 : Thin films for advanced electronic devices: Xerox.(3 kor.), 1991. - XII,332 p. p. - Текст : непосредственный.Structure of surfaces and interfaces as studied using synchrotron radiation : материал технической информации, 1990. - 341 p. - Текст : непосредственный.Thin films: trends and new applications : Proc. of the 2nd intern. symp. on trends and new applications in thin films, Regensburg, F.R.G., 27 Febr.- 3 Mar., 1989 / Ed.:H.Hoffmann. Vol. 1, 1989. - XII,336 p. p. - Текст : непосредственный.Thin films: trends and new applications : Proc. of the 2nd intern. symp. on trends and new applications in thin films, Regensburg, F.R.G., 27 Febr.- 3 Mar., 1989 / Ed.:H.Hoffmann. Vol. 2, 1989. - IX,353 p. p. - Текст : непосредственный.Лазерная атомно-молекулярная технология и диагностика элементарных процессов : сборник / Ред. Н. И. Коротеев, 1990. - 222 с. - Текст : непосредственный.Добрица Д.Б. Обработка сигналов лазерного оптико-акустического газоанализатора при анализе многокомпонентных газовых смесей : специальность 05.11.07 "Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Д. Б. Добрица, 2002. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыXVII научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника" : материалы конф., октябрь 2010 / "Вакуумная наука и техника", науч.-техническая конф. с участием зарубежных специалистов (17; 2010; Москва), 2010. - 462 с. - Текст : непосредственный.Булыгина Е.В. Формирование тонкопленочных структур с использованием матриц синтетического опала для изготовления газочувствительных элементов / Е. В. Булыгина, К. Н. Беседина, А. С. Власова. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 204-206
XVII научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов "Вакуумная наука и техника" : материалы конф., октябрь 2010 / "Вакуумная наука и техника", науч.-техническая конф. с участием зарубежных специалистов (17; 2010; Москва), 2010. - 462 с. - Текст : непосредственный.Ивашов Е.Н. Методы познания в нанотехнологии / Е. Н. Ивашов, В. А. Васин. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 229-235Дидык А. Модифицированная модель термического пика для описания многослойных наноструктур на примере (AlN/TiN)x5/Si и ВТСП второго поколения / А. Дидык, Д. Музафаров. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 266-268Камардин А.И. Модификация тонких пленок металлических покрытий при ионно-лучевой обработке / А. И. Камардин, Т. Д. Раджабов. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 384-387Булыгина Е.В. Формирование тонкопленочных структур с использованием матриц синтетического опала для изготовления газочувствительных элементов / Е. В. Булыгина, К. Н. Беседина, А. С. Власова. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 204-206Панфилов Ю.В. Вакуумные технологии в наноинженерии / Ю. В. Панфилов. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 207-211Сидорова С.В. Исследование влияния технологических режимов на размеры островковых наноструктур / С. В. Сидорова, И. Н. Куликов, Д. В. Тетерук. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 211-215Сидорова С.В. Моделирование роста островковых наноструктур в вакууме / С. В. Сидорова, Ю. В. Панфилов. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 215-218Метод получения наночастиц с использованием течения Прандтля-Майера / Т. А. Евдокимова, М. Н. Полянский, Р. Н. Ризаханов, И. В. Чернышов. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 218-222Нагорный В.С. Исследование структурированных наночастицами серебра рабочих жидкостей электрокаплеструйных технологий / В. С. Нагорный. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 235-239Мухин В.С. Технология создания наноструктурированных многослойных покрытий композиции Ti - TiN вакуумными ионно-плазменными методами / В. С. Мухин, С. Р. Шехтман. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 252-255Дидык А. Создание и изучение радиационной стабильности наноструктурированных слоев (AlN/TiN)x5/Si при облучении тяжелыми ионами низких и высоких энергий / А. Дидык, М. Милосавльевич. - Текст : непосредственный // "Вакуумная наука и техника" : материалы XVII науч.-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, окт. 2010 г. - М. : МИЭМ, 2010. - с. 375-378
Заказ фрагмента документа ₽