• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Михальков, А. М. Повышение надежности наноразмерных диэлектрических пленок МДП-структур и приборов на их основе / А. М. Михальков. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2011. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - С. 142-149. - Библиогр.: 3 назв.
    ГРНТИ 47.09.48 + 47.13.19 + 51.41.25

    Аннотация: Приведены характеристики автоматизированной установки проведения инжекционно-термической обработки, с помощью которой можно подтвердить эффект повышения надежности наноразмерных диэлектрических плёнок МДП-структур (металл - диэлектрик - полупроводник) и приборов на их основе. Дано описание специализированного ПО, разработанного в среде LabView 7.0. Рассмотрена методика эксперимента, подтверждающая эффект повышения надежности.
    Экз-ры полностью 9835315c51fb8d0ce74075ae89c8e440
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -314777-025009)

    Шифр в сводном ЭК: 3b032c9675a2a7905abad1365148e4a2




    Заказ фрагмента документа ₽