• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Дмитриев, В. Г. Установка контроля и модификации наноразмерных диэлектрических слоев / В. Г. Дмитриев. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2011. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. - С. 87-90. - Библиогр.: 9 назв.
    ГРНТИ 47.13.81

    Аннотация: Структурная схема и технические характеристики установки контроля и модификации наноразмерных диэлектрических слоёв.
    Экз-ры полностью 9835315c51fb8d0ce74075ae89c8e440
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -271324-730825)

    Шифр в сводном ЭК: 68d891380033d4366f53d696c02150d3




    Заказ фрагмента документа ₽