• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Лазарев, Г. Л. Разработка и исследование цифрового интерференционного микроскопа для прецизионных измерений малых высот и наноперемещений : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.07 / Г. Л. Лазарев. - М., 2006. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16(7 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.31.29681.723.26(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-6289)

    Шифр в сводном ЭК: a4ba7771867516d60b530cb236832acb



    Заказ фрагмента документа ₽