• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Стафеев, С. К. Комплекс методов и средств оптического неразрушающего контроля материалов микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук:05.11.07 / С. К. Стафеев. - СПб, 1999. - 38 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн.ун-т). Библиогр.:с. 35-38(45 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.3.049.76:620.179(043)
    47.01.81

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-сф69)

    Шифр в сводном ЭК: 095913b59652b44fe1e48f09417a9763



    Заказ фрагмента документа ₽