Приложение
для AndroidПолное описание
Плесков, Б. А. Метод и система контроля качества изделий из кварцевого стекла в процессе их плазменной обработки : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.11.13 / Б. А. Плесков. - М., 1990. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т хим. машиностроения. Библиогр.:с. 15-16(10 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.38.002.5(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-022963)
Шифр в сводном ЭК: bb54d70a79af9c6c31715ad65a7e8f66
Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный.Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный.Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный.Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный.Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный.Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный.Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный.Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный.Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный.Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный.Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный.Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный.Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВасиленко Н.В. Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения : специальность 05.27.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Н. В. Василенко, 2000. - 49 с. - Текст : непосредственный.Горбаренко В.А. Активные оптические системы лазерных технологических установок для обработки и визуального контроля : специальность 05.27.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Горбаренко, 1991. - 40 с. - Текст : непосредственный.Курбатов О.К. Физико-технические основы создания оптимизированных высоковакуумных магниторазрядных насосов, герметизирующих элементов и устройств для вакуумного технологического и аналитического оборудования электронной техники : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.27.26 / О. К. Курбатов, 2006. - 43 с. - Текст : непосредственный.Хрусталев В.А. Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 05.09.10 / В. А. Хрусталев, 2002. - 32 с. - Текст : непосредственный.Русанов А.В. Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А. В. Русанов, 2009. - 16 с. - Текст : непосредственный.Жарский В.В. Методы расчета и построения координатных систем с расширенным диапазоном точностных и динамических характеристик : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / В. В. Жарский, 2001. - 21 с. - Текст : непосредственный.Кеменов В.Н. Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук: 05.27.07 / В. Н. Кеменов, 2000. - 42 с. - Текст : непосредственный.Сабирзянов Н.Р. Разработка криовакуумного обеспечения нанотехнологических установок : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.04.03 / Н. Р. Сабирзянов, 2006. - 20 с. - Текст : непосредственный.Кукушкин Н.В. Технологические аспекты применения импульсных магнитных полей в оборудовании для производства изделий электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / Н. В. Кукушкин, 1990. - 24 с. - Текст : непосредственный.Коллеров Э.П. Разработка специализированной элементной базы, функциональных устройств и систем, создание на их основе физико-технологических комплексов и нового поколения спецоборудования электронной техники для высокоэнергетических технологий : Дис. на соискание ученой степени канд. техн. наук в форме науч. докл.: 05.27.07 / Э. П. Коллеров, 1990. - 36 с. - Текст : непосредственный.Андрианов А.М. Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / А. М. Андрианов, 2000. - 21 с. - Текст : непосредственный.Шестаков В.Д. Трековые мембраны:теория, эксперимент, основы технологии промышленного производства,применение : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра.техн.наук:05.27.06 / В. Д. Шестаков, 1995. - 40 с. - Текст : непосредственный.Ивашов Е.Н. Теория и проектирование l-координатных исполнительных устройств оборудования электронной техники на стадиях предварительной разработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / Е. Н. Ивашов, 1993. - 44 с. - Текст : непосредственный.Прусаков Е.В. Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / Е. В. Прусаков, 2001. - 23 с. - Текст : непосредственный.Беликов А.И. Повышение вакуумных и фрикционных характеристик механизмов с твердосмазочным покрытием на основе дисульфида молибдена для вакуумного технологического оборудования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / А. И. Беликов, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Леонов Л.Б. Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / Л. Б. Леонов, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Ветров В.А. Разработка методов проектирования миниатюрных низковакуумных насосов для оборудования электронной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / В. А. Ветров, 2008. - 22 с. - Текст : непосредственный.Плесков Б.А. Метод и система контроля качества изделий из кварцевого стекла в процессе их плазменной обработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.11.13 / Б. А. Плесков, 1990. - 16 с. - Текст : непосредственный.Ивашов Е.Н. Обеспечение работоспособности L-координатных исполнительных устройств оборудования электронной техники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.07 / Е. Н. Ивашов, 1992. - 51 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽