Приложение
для AndroidПолное описание
Калмыков, Ш. А. Оптика тонкопленочных систем : конспект лекций / Ш.А.Калмыков. - Нальчик : [б. и.], 1997. - 57 с. : ил. - 100 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Кабардино-Балкар. гос. ун-т им. Х.М.Бербекова. Библиогр.:с.56 (5 назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.33.37 | 681.785.35 | |
| 621.3.049.76-416 |
Рубрики:
Эллипсометрия
Пленочная микроэлектроника
Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНОЧНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-97/40209)
Шифр в сводном ЭК: 2faa38387c64301c6dd4a2d5a8031b2e
Полупроводниковая микроэлектроника : сборник научных трудов / Новосибирский электротехнический ин-т, 1989. - 113,5 c. c. - Текст : непосредственный.Зотов А.А. Физические основы устройств функциональной электроники / А. А. Зотов, Т. И. Чернышова, В. Н. Чернышов, 1993. - 208 c. - Текст : непосредственный.Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика : материалы временных коллективов, 2014. - 240 с. - Текст : непосредственный.Щука А. А. Наноэлектроника / А. А. Щука, 2007. - 463 с. - Текст : непосредственный.Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 1, 2007. - 450 с. - Текст : непосредственный.Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 2, 2007. - 310 с. - Текст : непосредственный.The second international workshop on surfaces..,Hawaii,7-12 Dec.1997 / Workshop on surfaces and interfaces of mesoscopic devices (2nd ; 1997 ; Hawaii) , 1998. - 183 p. - Текст : непосредственный.Очерки истории российской электроники. Вып. 5 : 50 лет отечественной микроэлектронике. Краткие основы и история развития / Б. М. Малашевич, 2013. - 799 с. - Текст : непосредственный.Орлова М.Н. Наноэлектроника : выставочные материалы / М. Н. Орлова, И. В. Борзых, 2013. - 49 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 95 : материалы временных коллективов / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.Гетеромагнитная микроэлектроника : Сб. науч. тр. / Рос. агентство по системам упр. Вып. 10 : Гетеромагнитная микро- и наноэлектроника. Прикладные аспекты. Экономика. Методические аспекты физического образования / под ред. А. В. Ляшенко, 2011. - 147 с. - Текст : непосредственный.Ефимов И.Е. Основы микроэлектроники : учебное пособие / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, 2008. - 384 с. - Текст : непосредственный.Комаров А.С. Управление техническим уровнем высокоинтегрированных электронных систем (научно-технологические проблемы и аспекты развития) / А. С. Комаров, Д. В. Крапухин, Е. И. Шульгин ; Ред. П. П. Мальцев, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный.Бобров И.И. Физические основы микроэлектроники : Курс лекций. Ч. 1, 1995. - 81 с. - Текст : непосредственный.Беседина К.Н. Разработка методов управляемого формирования и исследование тонкопленочных опаловых наноструктур / К. Н. Беседина, 2014. - 16 с. - Текст : непосредственный.Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics . - Журнал выходит с 2006г.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Физико-химические основы микроэлектроники. Процессы получения пленок / В. Г. Нефедов, О. Б. Гусев, Ю. С. Кулешов, О. В. Шакин, 1991. - 66 с. - Текст : непосредственный.Микроэлектроника и информатика-2001 : сборник, 2001. - 336 с. - Текст : непосредственный.physics and fabrication of microstructures and microdevices : материалы временных коллективов / Ed.: M. J. Kelly, C. Weisbuch, 1986. - XI,469 p. p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыФизико-химические основы микроэлектроники. Процессы получения пленок / В. Г. Нефедов, О. Б. Гусев, Ю. С. Кулешов, О. В. Шакин, 1991. - 66 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова, 2008. - 190 с. - Текст : непосредственный.Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ : монография / А. П. Кирьянов, 2003. - 219 с. - Текст : непосредственный.
Макеев М.О. Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии / М. О. Макеев, С. А. Мешков, Ю. А. Иванов, 2018. - 140, [1] с. - Текст : непосредственный.Подвигалкин В.Я. Радиоэлектроника протяжённого пространства : монография / В. Я. Подвигалкин, 2019. - 257 с. - Текст : непосредственный.Мягков В.Г. Твердофазные реакции и фазовые превращения в слоистых наноструктурах / В. Г. Мягков, В. С. Жигалов; отв. ред. В. Ф. Шабанов, 2011. - 155 с. - Текст : непосредственный.Патрушева Т.Н. Растворные пленочные технологии : Учеб. пособие / Т.Н.Патрушева, 2002. - 140 с. - Текст : непосредственный.Zhan Q. Measuring unresolved surface features using imaging ellipsometric polarization signatures / Q.Zhan,J.R.Leger, 2002. - 3 p. - Текст : непосредственный.Zhan Q. Measurement of surface features beyong the diffraction limit using an imaging ellipsometer / Q.Zhan,R.Leger, 2002. - 13 p. - Текст : непосредственный.Zhan Q. Imaging ellipsometry high-spatial-resolution metrology / Q.Zhan,R.Leger, 2002. - 12 p. - Текст : непосредственный.Эллипсометрия в науке и технике : Сб. ст. / АН СССР. Ин-т физики полупроводников. Вып. 2 / ред. К. К. Свиташев, 1990. - 189 с. - Текст : непосредственный.Патрушева Т.Н. Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / Т. Н. Патрушева, 2010. - 301 с. - Текст : непосредственный.Нефедов В.Г. Физико-химические основы микроэлектроники. Свойства тонких пленок : Учеб. пособие / В. Г. Нефедов, Ю. С. Кулешов, О. Б. Гусев, 1993. - 50 c. - Текст : непосредственный.Асалханов Ю.И. Эллипсометрия субмонослойных покрытий и приповерхностный слой твердых тел / Ю.И.Асалханов, 1998. - 208 с. - Текст : непосредственный.Воробьев Г.А. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учеб. пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова, 1991. - 123 c. - Текст : непосредственный.Эллипсометрия. Теория, методы, приложения : Сб. науч. тр. / АН СССР.Сиб.отд-ние.Ин-т физики полупроводников, 1991. - 252 с. - Текст : непосредственный.Fracture toughness of silicon and thin film micro-structures by wedge indentation / M.P.de Boer,He Huang,J.C.Nelson и др., 1995. - Var.pag. - Текст : непосредственный.Румак Н.В. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н.В.Румак,В.В.Хатько;Под ред.В.Е.Борисенко, 1990. - 191 c. - Текст : непосредственный.Горшков М.М. Эллипсометрия / М. М. Горшков, 1974. - 200 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Свиташева С.Н. Эллипсометрия шероховатых поверхностей : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. Н. Свиташева, 2009. - 29 с. - Текст : непосредственный.Физико-химические основы микроэлектроники. Процессы получения пленок / В. Г. Нефедов, О. Б. Гусев, Ю. С. Кулешов, О. В. Шакин, 1991. - 66 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова, 2008. - 190 с. - Текст : непосредственный.Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies: techniques, fundamentals and devices : сборник научных трудов / Ed.: O. Auciello, J. Engemann, 1993. - 633 p. - Текст : непосредственный.Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ : монография / А. П. Кирьянов, 2003. - 219 с. - Текст : непосредственный.Хасанов Т. Поляриметрия и эллипсометрия в исследовании поляризующих оптических систем : специальность 01.04.05 "Оптика" : диссертация на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / Т. Хасанов, 2010. - 31 с. - Текст : непосредственный.
Рыбакова А.Н. Магнитоанизотропные свойства пленочных систем CoPd, CoCr и CoPt, полученных с помощью твердофазного синтеза / А. Н. Рыбакова, 2017. - 22 с. - Текст : непосредственный.Макеев М.О. Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии / М. О. Макеев, С. А. Мешков, Ю. А. Иванов, 2018. - 140, [1] с. - Текст : непосредственный.Подвигалкин В.Я. Радиоэлектроника протяжённого пространства : монография / В. Я. Подвигалкин, 2019. - 257 с. - Текст : непосредственный.Федоринин В.Н. Исследование и разработка спектральных эллипсометров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07 / В. Н. Федоринин, 1992. - 23 с. - Текст : непосредственный.Мягков В.Г. Твердофазные реакции и фазовые превращения в слоистых наноструктурах / В. Г. Мягков, В. С. Жигалов; отв. ред. В. Ф. Шабанов, 2011. - 155 с. - Текст : непосредственный.Патрушева Т.Н. Растворные пленочные технологии : Учеб. пособие / Т.Н.Патрушева, 2002. - 140 с. - Текст : непосредственный.Zhan Q. Measuring unresolved surface features using imaging ellipsometric polarization signatures / Q.Zhan,J.R.Leger, 2002. - 3 p. - Текст : непосредственный.Zhan Q. Measurement of surface features beyong the diffraction limit using an imaging ellipsometer / Q.Zhan,R.Leger, 2002. - 13 p. - Текст : непосредственный.Zhan Q. Imaging ellipsometry high-spatial-resolution metrology / Q.Zhan,R.Leger, 2002. - 12 p. - Текст : непосредственный.Эллипсометрия в науке и технике : Сб. ст. / АН СССР. Ин-т физики полупроводников. Вып. 2 / ред. К. К. Свиташев, 1990. - 189 с. - Текст : непосредственный.Патрушева Т.Н. Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / Т. Н. Патрушева, 2010. - 301 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| |
Заказ фрагмента документа ₽