• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Серов, А. А. Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.12 / А. А. Серов. - М., 2001. - 27 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 26-27

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-6515)

    Шифр в сводном ЭК: f39be17b374f81f331c7ae161f599379



    Заказ фрагмента документа ₽