• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Обзоры по электронной технике : обзорная информация / ЦНИИ "Электроника". - М. : [б. и.], 19 - . - Текст : непосредственный.
    Вып. 3(1546) : Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении : по дан. отеч. и зарубеж. печати за 1975-1989 гг. / В.Ю.Васильев. - 1990. - 56 с. : ил.

    Библиогр.: с. 50-56 (80 назв.). Сер.2,Полупроводниковые приборы

    ГРНТИ УДК
    47.13621.38-416

    Рубрики:
    Пленочная электроника

    Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
    Доп. точки доступа:
    "Электроника", ин-т (Москва)
    Экз-ры полностью b556de1a3df8717f02a0e707e313bfa5
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/15125/3(1546))

    Шифр в сводном ЭК: b556de1a3df8717f02a0e707e313bfa5



    Заказ фрагмента документа ₽