• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Крюков, В. Л. Разработка технологии получения высокоомного компенсированного кремния для панелей СВЧ-устройств : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / В. Л. Крюков. - М., 1997. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 23-25(25 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.09621.37.002.3(043)
    47.47.31

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР97-0203)

    Шифр в сводном ЭК: 2ab3ca8588ed8f61d6e170f31ac471bf



    Заказ фрагмента документа ₽