Полное описание
Тимошенков, С. П. ГРНТИ 47.13.11 Кл.слова (ненормированные): кремний Аннотация: Показано, что метод магнетронного распыления позволяет получать наноструктурированные пористые слои тонких пленок с высоким значением эффективной поверхности. Рассмотрена перспектива создания газопоглощающих структур для МЭМС на основе пористого кремния. Доп. точки доступа:
Экз-ры полностью e3b35d23f5d5ea3d8a97ebe1959574b0 Нет сведений об экземплярах Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -551050-487700)
Шифр в сводном ЭК: 557e8eecd1932a67fc5ddf4c4022c535
Симонов Б.М. Конструкции и технологии изготовления компонентов и узлов электронных средств : выставочные материалы / Б. М. Симонов, О. М. Бритков, А. С. Тимошенков ; Ред. С. П. Тимошенков, 2016. - 364 с. - Текст : непосредственный. Тимошенков С.П. Синтез диэлектрических многокомпонентных материалов в высокочастотной плазме и исследование их свойств : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / С. П. Тимошенков, 1994. - 30 с. - Текст : непосредственный. Очередной этап экспериментов по изучению влияния температуры и гравитации на гамма-резонанс Ag / В. Г. Алпатов, Ю. Д. Баюков, С. П. Тимошенков, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Шалимов А.С. Проектирование МЭМС-устройств : учебное пособие / А. С. Шалимов, Е. С. Кочурина; под редакцией С. П. Тимошенкова, 2018. - 108 с. - Текст : непосредственный. Комплексное проектирование микросистем на печатных платах в САПР Mentor Graphics : учебное пособие / Д. В. Вертянов, В. Г. Сикоев, Е. П. Горюнова, С. П. Тимошенков ; под редакцией С. П. Тимошенкова ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". Ч. 1 : Центральная библиотека Library Manager, 2019. - 172 с. - Текст : непосредственный. Анчутин С.А. Введение в конечно-элементный анализ. Использование ANSYS в задачах математической физики : Учеб. пособие / С. А. Анчутин, В. Е. Плеханов, С. П. Тимошенков, 2007. - 280 с. - Текст : непосредственный. Анализ преимуществ, перспектив применения и технологий производства структур КНИ / А.Л.Суворов,Ю.А.Чаплыгин,С.П.Тимошенков и др., 2000. - 35 с. - Текст : непосредственный. Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль : сб. науч. тр. / Московский гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т), 2007. - 207 с. - Текст : непосредственный. Особенности технологии изготовления КНИ структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества / Е.П.Прокопьев,С.П.Тимошенков,А.Л.Суворов и др., 2000. - 20 с. - Текст : непосредственный. Захаров Н.П. Оптико-электронные узлы электронно-вычислительных средств, измерительных приборов и устройств автоматики : учеб. пособие / Н. П. Захаров, С. П. Тимошенков, Ю. А. Крупнов, 2009. - 335 с. - Текст : непосредственный. Фазовая память: современное состояние и перспективы использования : учеб.-метод. пособие / А. А. Шерченков [и др.], 2016. - 135 с. - Текст : непосредственный. Симонов Б.М. Компоненты электронной аппаратуры : учеб. пособие по курсам: "Технология компонентов ЭВС", "Детали ЭА", "Материалы и компоненты электрон. средств", "Проектирование и технология электрон. компонент. базы" / Б. М. Симонов, О. М. Бритков, А. С. Тимошенков; под ред. С. П. Тимошенкова, 2017. - 279 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Сборник трудов Второй Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по тематическому направлению деятельности национальной нанотехнологической сети "Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества" : 11-13 апр. 2011 г. / "Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества", всероссийская школа-семинар студентов, аспирантов и молодых ученых по тематическому направлению деятельности национальной нанотехнологической сети (2; 2011; Москва), 2011. - 173 с. - Текст : непосредственный. Тимошенков С.П. Исследование и разработка функциональных наноструктурированных слоев для МЭМС / С. П. Тимошенков, Д. С. Гаев, А. Н. Бойко. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 10-14 Гидротермально-микроволновой синтез стабильных золей нанокристаллических твердых растворов Cex Gd1-x Oy (0.05, 0.10, 0.15, 0.20) / Г. А. Гасымова, О. С. Иванова, В. К. Иванов, Ю. Д. Третьяков. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 20-22 Гуляева Е.В. Влияние соотношения прекурсоров на синтез наночастиц CdS и ZnS / Е. В. Гуляева, М. Ю. Королёва. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 31-34 Дмитриев А.И. Функциональные нано- и гетероструктуры магнитных полупроводников для спинтроники / А. И. Дмитриев, А. Д. Таланцев. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 35-38 Электрохимический синтез нанопорошков гексаборидов неодима и празеодима / Х. Б. Кушхов, З. А. Жаникаева, С. И. Чуксин, Н. А. Барышникова. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 43-48 Применение углеродных нанотрубок для армирования корундовой керамики / К. С. Зараменских, Е. В. Жариков, Н. А. Попова [и др.]. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 48-53 Ильичева Н.С. Разработка электропроводящего наноструктурированного материала на основе полипиррола / Н. С. Ильичева, В. Р. Дуфлот, Н. К. Китаева. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 54-56 Инасаридзе Л.Н. Физико-химические свойства нанопористых пленок диоксида титана, полученных анодным окислением / Л. Н. Инасаридзе, А. В. Балмасов, В. М. Цыбина. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 57-62 Функциональные радиоматериалы на основе наноструктурных оксидных ферримагнетиков и многостенных углеродных нанотрубок / О. А. Кочеткова, Г. Е. Кулешов, О. А. Доценко, В. И. Сусляев. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 63-68 Кунилова И.В. Определение состава и структуры поверхностного слоя сфалерита после адсорбции наноразмерного активатора / И. В. Кунилова, Е. В. Копорулина. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 69-77 Максименко А.А. Нанокомпозиты FeCoZr - Al2 O3 со структурой "ядро - оболочка" для спинтронных датчиков магнитного поля / А. А. Максименко, Ю. А. Федотова, Ю. В. Касюк. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 89-93 Новые функциональные наноматериалы на основе слоистых алюмосиликатов и гуадинсодержащих полиэлектролитов. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 104-108 Наговицына Т.Ю. Наноэмульсии М/В, стабилизированные Brij 30 / Т. Ю. Наговицына, М. Ю. Королева. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 109-114 Токарев А.М. Моделирование образования кластеров наночастиц CdS / А. М. Токарев, М. Ю. Королёва. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 139-144 Трухина М.В. Модифицирование защитного лакового покрытия Mobihel Helos MS 2:1 наноалмазами и многостенными углеродными нанотрубками / М. В. Трухина, О. Н. Бобылева, М. В. Провоторов. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 145-149 Получение Ni/(NiO + Y2 O3 ) катализатора для синтеза углеродных нанотрубок / П. П. Файков, Е. В. Жариков, К. С. Зараменских [и др.]. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 150-154 Синтез и характеризация наночастиц на основе оксида цинка / А. Я. Шаляпина, Э. М. Хохлов, М. А. Запорожец [и др.]. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 160-164 Шогенова Д.Л. Электрохимический синтез нанодисперсных порошков трехкомпонентных соединений на основе иттрия, бора и кобальта / Д. Л. Шогенова, Х. Б. Кушхов, А. М. Асанов. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 164-167 Подрядова Е.В. Использование СВС для получения нанопорошка оксида гадолиния / Е. В. Подрядова, М. В. Астахов. - Текст : непосредственный // Функциональные наноматериалы и высокочистые вещества : сб. тр. 2-й Всерос. шк.-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых по темат. направлению деятельности нац. нанотехнол. сети. - М. - 2011. - с. 168-173 Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
