• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Михальков, А. М. Инжекционно-термическая обработка наноразмерных диэлектрических пленок МДП-приборов / А. М. Михальков. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2010. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. - С. 211-216. - Библиогр.: 2 назв.
    ГРНТИ 29.35.41

    Аннотация: Рассмотрена возможность применения сильнополевой туннельной инжекции для выявления потенциально ненадежных МДП-структур (металл - диэлектрик - полупроводник), а также для обработки, выявления и устранения дефектов зарядовой стабильности окислов.
    Экз-ры полностью ff358d0391e39e31078c23bee26a6dd4
    Все экземпляры списаны
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -554467-480875)

    Шифр в сводном ЭК: c378468e02fc91a45e083b1267534131




    Заказ фрагмента документа ₽