• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Мейснер, С. Н. Морфология поверхности и элементный состав покрытий из кремния на подложке из никелида титана, полученных при различных режимах магнетронного напыления / С. Н. Мейснер, А. И. Лотков. - Текст : непосредственный // Физика и химия наноматериалов : сб. материалов 2-й Междунар. шк.-конф. молодых ученых, Томск, Россия, 12-16 окт. 2009 г. - Томск : ТМЛ-Пресс, 2009. - С. 93-96.
    ГРНТИ 53.49.05

    Аннотация: При помощи режима постоянного и импульсного магнетронного напыления мишени из кремния на подложку из сплава на основе никелида титана сформирован однородный слой минимально возможной толщины. Исследован химический состав полученных пленок.
    Доп. точки доступа:
    Лотков, А.И.

    Экз-ры полностью 47bc035b7ceb3ee56b0671b9f743da28
    Все экземпляры списаны
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -785451-241104)

    Шифр в сводном ЭК: aa8cecf8f9048fd89cc38d7ffc86df72




    Заказ фрагмента документа ₽