Полное описание

Технологическое оборудование микроэлектроники : сб. науч. тр. / Моск.ин-т электронной техники ; Под ред.В.М.Редина. - М. : [б. и.], 1993. - 68 с. : ил. - 300 экз. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.01.83	621.3.049.76.002.5

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Оборудование

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ОБОРУДОВАНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа:
Редин, В.М.\ред.\
Московский ин-т электронной техники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-93/8094)

Шифр в сводном ЭК: 35e86004dc225d080d230e1022942717

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽