Полное описание

Сорокин, И. Н. Химическое травление полупроводниковых соединений : учеб. пособие по курсу "Физ.-хим. основы технологии микроэлектроники" / И.Н.Сорокин,Н.Г.Назаров. - М. : [б. и.], 1992. - 96 с. : ил. - 300 экз. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с.81-82 (10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:621.794

Рубрики:
Полупроводники -- Травление

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК -- ТРАВЛЕНИЕ
Доп. точки доступа:
Назаров, Н.Г.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-92/7484)

Шифр в сводном ЭК: 14e953594ec56371efc1b4919be7251f

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽